公开(公告)号：US20080050861A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：US11844844

申请日：2007-08-24

Applicant: Cyril Vancura ,  Markus Ulm ,  Brian Stark ,  Matthias Metz ,  Tino Fuchs ,  Franz Laermer ,  Silvia Kronmueller

Inventor： Cyril Vancura ,  Markus Ulm ,  Brian Stark ,  Matthias Metz ,  Tino Fuchs ,  Franz Laermer ,  Silvia Kronmueller

IPC: H01L21/00

CPC classification number: B81C1/0096 ,  B81B3/0005

Abstract: An encapsulated MEMS process including a high-temperature anti-stiction coating that is stable under processing steps at temperatures over 450° C. is described. The coating is applied after device release but before sealing vents in the encapsulation layer. Alternatively, an anti-stiction coating may be applied to released devices directly before encapsulation.

Abstract translation: 描述了一种封装的MEMS工艺，其包括在450℃以上的加工步骤下稳定的高温抗静电涂层。 涂层在器件释放后，但在封装层封口之前应用。 或者，可以在封装之前将抗静电涂层直接施加到释放的装置。

公开(公告)号：US20050086427A1

公开(公告)日：2005-04-21

申请号：US10733991

申请日：2003-12-10

Applicant: Robert Fozard ,  Desmond Young ,  Charlie Ghahremani ,  Brian Stark ,  Rick Lund

Inventor： Robert Fozard ,  Desmond Young ,  Charlie Ghahremani ,  Brian Stark ,  Rick Lund

IPC: G06F12/00 ,  G06F12/16 ,  G06F13/00 ,  G06F15/00 ,  G06F17/30

CPC classification number: H04L67/1097 ,  G06F3/0626 ,  G06F3/0637 ,  G06F3/0643 ,  G06F3/067 ,  G06F11/2035 ,  G06F11/2089 ,  G06F16/10

Abstract: A storage filing system for a storage network includes a communication channel coprocessor, a file processor, and a storage processor. The communication channel coprocessor comprises a plurality of first symmetric processors. The communication channel coprocessor receives a request for data from a communication network. The communication channel coprocessor then processes the request to perform access control and determine a file system object for the data. The file processor comprises a plurality of second symmetric processors. The file processor determines a storage location for the data in the storage network using volume services based on the file system object. The storage processor reads the data from or writes the data to the storage location.

Abstract translation: 用于存储网络的存储归档系统包括通信信道协处理器，文件处理器和存储处理器。 通信信道协处理器包括多个第一对称处理器。 通信信道协处理器从通信网络接收对数据的请求。 然后，通信信道协处理器处理执行访问控制的请求并确定数据的文件系统对象。 文件处理器包括多个第二对称处理器。 文件处理器使用基于文件系统对象的卷服务来确定存储网络中的数据的存储位置。 存储处理器从存储位置读取数据或将数据写入存储位置。