公开(公告)号：US06623909B2

公开(公告)日：2003-09-23

申请号：US09870745

申请日：2001-06-01

申请人： Jun Hatakeyama ,  Toshiaki Takahashi ,  Toshinobu Ishihara ,  Jun Watanabe ,  Tohru Kubota ,  Yoshio Kawai

发明人： Jun Hatakeyama ,  Toshiaki Takahashi ,  Toshinobu Ishihara ,  Jun Watanabe ,  Tohru Kubota ,  Yoshio Kawai

IPC分类号： G03F7038

CPC分类号： C08G77/24 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108

摘要： Polymers comprising recurring units of formula (1) are provided wherein R1 is a straight, branched or cyclic divalent C1-20 hydrocarbon group or a bridged cyclic hydrocarbon group, R is hydrogen atom or an acid labile group, 0≦m≦3, 0≦n≦3 and 0≦m+n≦6. Using the polymers, chemical amplification positive resist compositions featuring low absorption of F2 excimer laser light are obtained.

摘要翻译： 提供了包含式（1）的重复单元的聚合物，其中R 1是直链，支链或环状二价C 1-20烃基或桥连环烃基，R是氢原子或酸不稳定基团，0≤m <= 3,0 <= n <= 3，0 <= m + n <= 6。使用聚合物，获得具有F2受激准分子激光的低吸收性的化学放大阳性抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：US06994945B2

公开(公告)日：2006-02-07

申请号：US10085935

申请日：2002-03-01

申请人： Takanobu Takeda ,  Jun Hatakeyama ,  Toshinobu Ishihara ,  Tohru Kubota ,  Yasufumi Kubota

发明人： Takanobu Takeda ,  Jun Hatakeyama ,  Toshinobu Ishihara ,  Tohru Kubota ,  Yasufumi Kubota

IPC分类号： G03C1/73 ,  G03F7/039 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36 ,  C08F30/08

CPC分类号： C08G77/04 ,  C08F230/08 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0758 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115 ,  C08F222/06 ,  C08F2220/185 ,  C08F214/06 ,  C08F220/18 ,  C08F222/40 ,  C08F214/26

摘要： Novel silicon-containing polymers are obtained by copolymerizing a vinylsilane monomer with a compound having a low electron density unsaturated bond such as maleic anhydride, maleimide derivatives or tetrafluoroethylene. Using the polymers, chemical amplification positive resist compositions sensitive to high-energy radiation and having a high sensitivity and resolution at a wavelength of less than 300 nm and improved resistance to oxygen plasma etching are obtained.

公开(公告)号：US06426427B1

公开(公告)日：2002-07-30

申请号：US09935659

申请日：2001-08-24

申请人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

发明人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

IPC分类号： C07F708

CPC分类号： C07F7/14

摘要： A bissilylnorbornane compound is prepared by reacting 2,5-norbornadiene with a hydrogenchlorosilane in the presence of a mixture of a palladium compound and a phosphite or a palladium complex having a phosphate ligand as a catalyst. The bissilylnorbornane compound can be produced in high yields while suppressing formation of by-product nortricyclene.

摘要翻译： 通过在钯化合物和亚磷酸盐或具有磷酸盐配体作为催化剂的钯络合物的混合物存在下使2,5-降冰片二烯与氢氯硅烷反应来制备二苯基降冰片烷化合物。 双降冰片烷基化合物可以以高产率生产，同时抑制副产物诺里克林的形成。

公开(公告)号：US06359161B2

公开(公告)日：2002-03-19

申请号：US09852638

申请日：2001-05-11

申请人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

发明人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

IPC分类号： C07F708

CPC分类号： C07F7/14

摘要： A halopropyldimethylchlorosilane is prepared by reacting dimethylchlorosilane with an allyl halide in the presence of an iridium catalyst. The reaction is effected in the presence of an internal olefin compound, typically 1,5-cyclooctadiene. The internal olefin compound suppresses deactivation of the iridium catalyst during reaction. Using a smaller amount of the iridium catalyst, the process produces the halopropyldimethylchlorosilane in high yields.

摘要翻译： 卤代丙基二甲基氯硅烷通过使二氯甲硅烷与烯丙基卤化物在铱催化剂存在下反应来制备。 反应在内部烯烃化合物（通常为1,5-环辛二烯）的存在下进行。 内部烯烃化合物抑制反应期间铱催化剂的失活。 使用较少量的铱催化剂，该方法以高产率生产卤代丙基二甲基氯硅烷。

公开(公告)号：US06245925B1

公开(公告)日：2001-06-12

申请号：US09627074

申请日：2000-07-27

申请人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

发明人： Yoichi Tonomura ,  Tohru Kubota ,  Mikio Endo

IPC分类号： C07F708

CPC分类号： C07F7/14

摘要： By reacting 4-vinyl-1-cyclohexene with a hydrogenchlorosilane compound in the presence of a platinum catalyst to give a reaction solution containing a monosilyl compound, removing the residual 4-vinyl-1-cyclohexene and isomers thereof from the reaction solution, and reacting the monosilyl compound again with the hydrogenchlorosilane compound, an organic silicon compound in which the two double bonds in 4-vinyl-1-cyclohexene have been hydrosilylated is produced in high yields.

摘要翻译： 通过在铂催化剂存在下使4-乙烯基-1-环己烯与氢氯硅烷化合物反应，得到含有单甲硅烷基化合物的反应溶液，从反应溶液中除去残留的4-乙烯基-1-环己烯及其异构体， 再次与高氯代硅烷化合物（其中4-乙烯基-1-环己烯中的两个双键已经被氢化硅烷化）的有机硅化合物再次产生单甲硅烷基化合物。

公开(公告)号：US6087520A

公开(公告)日：2000-07-11

申请号：US233452

申请日：1999-01-20

申请人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo

发明人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo

IPC分类号： B01J27/13 ,  C07B61/00 ,  C07F7/08 ,  C07F7/10 ,  C07F7/04

CPC分类号： C07F7/0874

摘要： By subjecting to hydrosilylation a hydrogendimethylalkoxysilane compound and an N-silylated allylamine compound in the presence of a platinum catalyst, adding an alcohol to the reaction product to effect desilylation reaction, and hydrolyzing the resulting 3-aminopropyldimethylalkoxysilane compound, 1,3-bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane is prepared. The end product free of isomers and of quality can be prepared through simple steps, at a low cost and in high yields.

摘要翻译： 通过在铂催化剂存在下进行氢化硅烷化氢化二甲基烷氧基硅烷化合物和N-甲硅烷基化烯丙胺化合物，向反应产物中加入醇进行脱甲硅烷基化反应，并水解得到的3-氨基丙基二甲基烷氧基硅烷化合物1,3-双（3 氨基丙基）四甲基二硅氧烷。 不含异构体和质量的最终产品可以通过简单的步骤以低成本和高产率制备。

公开(公告)号：US5440063A

公开(公告)日：1995-08-08

申请号：US335415

申请日：1994-11-03

申请人： Masaki Takeuchi ,  Akira Yamamoto ,  Mikio Endo ,  Tohru Kubota ,  Yasufumi Kubota

发明人： Masaki Takeuchi ,  Akira Yamamoto ,  Mikio Endo ,  Tohru Kubota ,  Yasufumi Kubota

IPC分类号： C07B61/00 ,  C07F7/12 ,  C07F7/08

CPC分类号： C07F7/126 ,  C07F7/123

摘要： Dimethylchlorosilane and a triorganochlorosilane of the formula: R.sup.1 R.sup.2 R.sup.3 SiCl wherein R.sup.1, R.sup.2, and R.sup.3 are independently selected from monovalent hydrocarbon groups are concurrently prepared by reacting dimethyldichlorosilane with a SiH bond-containing silane compound of the formula: R.sup.1 R.sup.2 R.sup.3 SiH in the presence of a Lewis acid catalyst. The method is especially effective for concomitant preparation of dimethylchlorosilane and trimethylchlorosilane or t-butyldimethylchlorosilane in an inexpensive, simple, safe manner and in high yields.

摘要翻译： 二甲基氯硅烷和式R 1 R 2 R 3 SiCl其中R 1，R 2和R 3独立地选自一价烃基的三有机氯硅烷同时通过在路易斯酸催化剂存在下使二甲基二氯硅烷与下式的R 1 R 2 R 3 SiH的含SiH键的硅烷化合物反应制备： 。 该方法对于以廉价，简单，安全的方式并以高产率同时制备二甲基氯硅烷和三甲基氯硅烷或叔丁基二甲基氯硅烷是特别有效的。

公开(公告)号：US5342984A

公开(公告)日：1994-08-30

申请号：US083288

申请日：1993-06-29

申请人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo

发明人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo

IPC分类号： B01J23/44 ,  B01J31/12 ,  B01J31/22 ,  C07B61/00 ,  C07F7/12 ,  C07F7/08

CPC分类号： C07F7/123

摘要： A triorganomonohalogenosilane is prepared by reacting a triorganomonohydrosilane represented by the following general formula (I):R.sup.1.sub.3 S i H (I)with a halogenated allyl compound represented by the following general formula (II): ##STR1## in the presence of metal palladium, or a salt or complex of palladium to replace the hydrogen atom directly bonded to the silicon atom of the triorganomonohydrosilane with a halogen atom. In Formula ( I ), the substituents R.sup.1 's directly bonded to the silicon atom may be identical to or different from one another and each represents a monovalent organic group. In Formula (II), the substituents R.sup.2 's may likewise be identical to or different from one another and each represents a hydrogen atom or a monovalent alkyl group and X represents a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom.

摘要翻译： 通过使由以下通式（I）表示的三有机单体硅烷：R 13 S i H（I）与由以下通式（II）表示的卤代烯丙基化合物：在金属存在下反应制备三有机单卤代硅烷： 钯或钯的盐或络合物，以与卤素原子直接键合到三有机基氢硅烷的硅原子上的氢原子。 式（I）中，与硅原子直接结合的取代基R 1'可以相同也可以不同，表示1价有机基团。 在式（II）中，取代基R2可以同样地彼此相同或不同，各自表示氢原子或一价烷基，X表示氯原子，溴原子或碘原子。

公开(公告)号：US06334935B1

公开(公告)日：2002-01-01

申请号：US09335772

申请日：1999-06-18

申请人： Katsuhiro Uehara ,  Mikio Endo ,  Tohru Kubota ,  Satoshi Uchida ,  Kanji Murofushi

发明人： Katsuhiro Uehara ,  Mikio Endo ,  Tohru Kubota ,  Satoshi Uchida ,  Kanji Murofushi

IPC分类号： B01D310

CPC分类号： C07F7/20 ,  C07F7/1804

摘要： A (meth)acryloxy-bearing alkoxysilane is isolated and purified to a high purity by distilling a reaction solution containing the (meth)acryloxy-bearing alkoxysilane in a thin-layer distillation device at a temperature of 90-160° C. and a vacuum of 1-15 mmHg. The resulting alkoxysilane product does not give rise to the quality problem that the product will gradually whiten during storage owing to contact with air. The occurrence of self-polymerization of the alkoxysilane is restrained.

摘要翻译： 含有（甲基）丙烯酰氧基的烷氧基硅烷通过在90-160℃的温度下在薄层蒸馏装置中蒸馏含有（甲基）丙烯酰氧基的烷氧基硅烷的反应溶液和真空，分离和纯化至高纯度 为1-15 mmHg。 所得到的烷氧基硅烷产物不会引起质量问题，即由于与空气接触，产品在储存期间将逐渐变白。 抑制烷氧基硅烷的自聚合的发生。

公开(公告)号：US06274754B1

公开(公告)日：2001-08-14

申请号：US09307768

申请日：1999-05-10

申请人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo ,  Yasufumi Kubota

发明人： Tohru Kubota ,  Mikio Endo ,  Yasufumi Kubota

IPC分类号： C07F710

CPC分类号： C07F7/0829

摘要： 1,2-, 1,3- or 1,4-bis(3-aminopropyldimethylsilyl)benzene is prepared by effecting hydrosilylation reaction between N,N-bis(trimethylsilyl)allylamine and 1,2-, 1,3- or 1,4-bis(dimethylsilyl)benzene in the presence of a platinum catalyst, followed by detrimethylsilylation reaction. The process is simple and inexpensive to synthesize the end compound in high yields without forming isomers.

摘要翻译： 通过进行N，N-二（三甲基甲硅烷基）烯丙胺和1,2-，1,3-或1,1-二（3-三氟甲基）丙烯胺的氢化硅烷化反应制备1,2-，1,3-或1,4-双（3-氨基丙基二甲基甲硅烷基） （二甲基甲硅烷基）苯在铂催化剂存在下进行，然后进行二甲基甲硅烷基化反应。 以高产率合成末端化合物而不形成异构体的方法简单且成本低廉。