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    Man-machine interface for monitoring and controlling a process
    29.
    发明申请
    Man-machine interface for monitoring and controlling a process 失效
    用于监控和控制过程的人机界面

    公开(公告)号：US20040236451A1

    公开(公告)日：2004-11-25

    申请号：US10493470

    申请日：2004-07-01

    发明人： Richard Parsons ,  Deana R. Delp

    IPC分类号： G06F019/00

    CPC分类号： G05B19/409 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/45031

    摘要： A process monitoring system (100) for monitoring a plasma processing system. The process monitoring system (100) includes a plurality of processing subsystems (120), and a control system (110) coupled to the processing subsystems (120). The control system (110) is configured to receive monitor data from the processing subsystems (120) and send control data to the processing subsystems (120). The process monitoring system (100) also includes an external interface (140) coupled to the control system (110), where the external interface (140) includes a paging system. The process monitoring system further includes a man-machine interface (MMI) coupled to the control system (110). The MMI is configured to display the monitor data, display the control data, and access the paging system.

    摘要翻译： 一种用于监测等离子体处理系统的过程监控系统（100）。 过程监控系统（100）包括多个处理子系统（120）和耦合到处理子系统（120）的控制系统（110）。 控制系统（110）被配置为从处理子系统（120）接收监视数据，并将控制数据发送到处理子系统（120）。 过程监控系统（100）还包括耦合到控制系统（110）的外部接口（140），其中外部接口（140）包括寻呼系统。 过程监控系统还包括耦合到控制系统（110）的人机界面（MMI）。 MMI配置为显示监视数据，显示控制数据，并访问寻呼系统。

    Monitor utility for use in manufacturing environment
    30.
    发明授权
    Monitor utility for use in manufacturing environment 失效
    监控实用程序用于制造环境

    公开(公告)号：US5548535A

    公开(公告)日：1996-08-20

    申请号：US335994

    申请日：1994-11-08

    申请人： John G. Zvonar

    发明人： John G. Zvonar

    IPC分类号： G05B19/418 ,  G07C3/00 ,  G08B21/00 ,  G08B23/00

    CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B2219/31323 ,  G05B2219/31372 ,  G05B2219/31435 ,  G05B2219/31452 ,  G05B2219/31453 ,  G05B2219/32286 ,  G05B2219/33209 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/24

    摘要： Method and apparatus for a utility for monitoring, tracking and scheduling the performance of periodic activities in a manufacturing environment is disclosed. In a preferred embodiment, the monitor utility of present invention is a VAX-based menu-driven program that is used to schedule and track periodic activities. erformed on tools and machines, or "entities." In one aspect of the invention, a user may create a family of entities to be monitored and may schedule various monitor items to be performed in connection with each entity, which items may be "triggered" by the occurrence of a designated event a designated number of times or by the elapse of a designated period of time. In another aspect of the invention, the utility may be used easily to generate and display and/or print reports in various formats showing the status of monitor items for a particular family and/or entity. In another aspect of the invention, the utility is capable of sending one or more VAX mail messages to designated users when certain monitor items are due. In addition, the utility may be configured to send a VAX mail warning message to designated users a predetermined amount of time before a monitor item becomes due so that the recipient(s) can take steps to perform the monitor item by the due date. In yet another aspect of the invention, if a monitor item is not performed by the due date, the utility is capable of logging down the entity with which the overdue monitor item is associated.

    摘要翻译： 公开了用于在制造环境中监视，跟踪和调度周期性活动的性能的实用程序的方法和装置。 在优选实施例中，本发明的监视实用程序是用于调度和跟踪周期性活动的基于VAX的菜单驱动程序。 在工具和机器上，或“实体”上发生变化。 在本发明的一个方面，用户可以创建要监视的一系列实体，并且可以安排与每个实体相关联地执行的各种监视项目，哪些项可以通过指定事件的发生指定数字“触发” 的时间或经过指定的时间段。 在本发明的另一方面，该实用程序可以容易地用于生成和/或打印各种格式的报告，显示特定家庭和/或实体的监视项目的状态。 在本发明的另一方面，当某些监视项目到期时，该实用程序能够向指定用户发送一个或多个VAX邮件消息。 此外，该实用程序可以被配置为在监视项目到期之前向指定用户发送预定时间量的VAX邮件警告消息，使得接收者可以在到期日期之前执行监视项目的步骤。 在本发明的另一方面，如果监视项目在到期日期之前未执行，则该实用程序能够记录与逾期监视项目相关联的实体。