公开(公告)号：US20120278770A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：US13429357

申请日：2012-03-24

申请人： Akira Fujimura ,  Ingo Bork ,  Etienne Jacques

发明人： Akira Fujimura ,  Ingo Bork ,  Etienne Jacques

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G03F1/78 ,  G03F1/144 ,  G03F1/20 ,  G03F1/36 ,  G03F7/705 ,  G06F17/5068 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J2237/31754 ,  H01J2237/31764 ,  H01J2237/31769 ,  H01J2237/31776

摘要： A method and system for fracturing or mask data preparation or proximity effect correction is disclosed in which a series of charged particle beam shots is determined, where the series of shots is capable of forming a continuous non-manhattan track on a surface, such that the non-manhattan track has a line width roughness (LWR) which nearly equals a target LWR. A method and system for fracturing or mask data preparation or proximity effect correction is also disclosed in which at least two series of shots are determined, where each series of shots is capable of forming a continuous non-manhattan track on a surface, and where the space between tracks has space width roughness (SWR) which nearly equals a target SWR.

摘要翻译： 公开了一种用于压裂或掩模数据准备或邻近效应校正的方法和系统，其中确定了一系列带电粒子束射击，其中一系列射击能够在表面上形成连续的非曼哈顿轨道，使得 非曼哈顿轨道具有几乎等于目标LWR的线宽粗糙度（LWR）。 还公开了用于压裂或掩模数据准备或邻近效应校正的方法和系统，其中确定至少两个系列的镜头，其中每个镜头系列能够在表面上形成连续的非曼哈顿轨道，并且其中 轨道之间的间距具有几乎等于目标SWR的空间宽度粗糙度（SWR）。

公开(公告)号：US06957408B1

公开(公告)日：2005-10-18

申请号：US10215563

申请日：2002-08-09

申请人： Steven Teig ,  Andrew Caldwell ,  Etienne Jacques

发明人： Steven Teig ,  Andrew Caldwell ,  Etienne Jacques

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5077

摘要： Some embodiments of the invention provide a method of for routing nets within a region of an integrated circuit (“IC”) layout. The method selects a net in the IC layout region. It then identifies a topological route for the selected net. From the selected net's topological route, this method then generates a geometric route for the selected net.

摘要翻译： 本发明的一些实施例提供了一种用于在集成电路（“IC”）布局的区域内布线网络的方法。 该方法选择IC布局区域中的网络。 然后识别所选网络的拓扑路由。 从所选网络的拓扑路线中，该方法然后生成所选网络的几何路线。

公开(公告)号：US06938234B1

公开(公告)日：2005-08-30

申请号：US10229196

申请日：2002-08-26

申请人： Steven Teig ,  Andrew Caldwell ,  Etienne Jacques

发明人： Steven Teig ,  Andrew Caldwell ,  Etienne Jacques

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5077

摘要： Some embodiments of the invention provide a method of routing nets in a region of a design layout. The region contains a plurality of nets and has multiple interconnect layers. The method identifies routes for a set of nets in the region, where some of the routes utilize vias to traverse multiple interconnect layers. The method then moves at least one via to improve the routing.

摘要翻译： 本发明的一些实施例提供了一种在设计布局的区域中布线网络的方法。 该区域包含多个网络并且具有多个互连层。 该方法识别区域中的一组网络的路由，其中​​一些路由利用过孔来遍历多个互连层。 该方法然后移动至少一个通道以改善路由。

公开(公告)号：US06892371B1

公开(公告)日：2005-05-10

申请号：US10230504

申请日：2002-08-28

申请人： Steven Teig ,  Etienne Jacques

发明人： Steven Teig ,  Etienne Jacques

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5077

摘要： Some embodiments of the invention provide a method for generating a route for a net in an integrated circuit (“IC”) layout. The method receives a previously defined route. From the received route, it generates several constraining points for specifying a geometric route that is based on a particular wiring model. The method then uses the constraining points to generate a geometric route that traverses diagonal and Manhattan directions.

摘要翻译： 本发明的一些实施例提供了一种用于在集成电路（“IC”）布局中生成网路的方法。 该方法接收先前定义的路由。 从接收到的路由中，它生成几个约束点，用于指定基于特定布线模型的几何路由。 然后，该方法使用约束点来生成穿过对角线和曼哈顿方向的几何路线。