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    System and Method for Non-Intrusive Thermal Monitor
    41.
    发明申请
    System and Method for Non-Intrusive Thermal Monitor 失效
    非侵入式热监测系统和方法

    公开(公告)号：US20080225925A1

    公开(公告)日：2008-09-18

    申请号：US12048881

    申请日：2008-03-14

    申请人： Marc Laverdiere ,  Robert F. McLoughlin ,  Michael Clarke ,  Dale Maenke ,  Wiley James Wilkinson

    发明人： Marc Laverdiere ,  Robert F. McLoughlin ,  Michael Clarke ,  Dale Maenke ,  Wiley James Wilkinson

    IPC分类号： G01J5/08

    CPC分类号： G01J5/02 ,  G01J5/0037 ,  G01J5/0255 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0893 ,  G01J5/12

    摘要： Embodiments disclosed herein provide a non-intrusive thermal (NIT) monitor for sensing temperatures useful for semiconductor manufacturing applications. In some embodiments, a NIT monitor comprises a thermopile, a fluid housing with a fluid window, and an elongated member positioned between the thermopile and the fluid window for transmitting or reflecting infrared signals corresponding to a temperature of a fluid in the fluid housing. The fluid housing may have a cross-sectional profile to enable the manipulation of the fluid flow under the fluid window, enhancing the speed and accuracy of the temperature sampling. The elongated member, which may be hollow and coated with gold, may an extended piece of the fluid housing or a part of an optics housing. In some embodiments, the NIT monitor is connected to a main conditioning circuit board via a cable for processing the temperature measurements at a remote location.

    摘要翻译： 本文公开的实施例提供用于感测对于半导体制造应用有用的温度的非侵入式热（NIT）监视器。 在一些实施例中，NIT监视器包括热电堆，具有流体窗口的流体壳体和位于热电堆和流体窗口之间的细长构件，用于传输或反射对应于流体壳体中的流体温度的红外信号。 流体壳体可以具有横截面轮廓，以使得能够操纵流体窗下方的流体流动，从而提高温度采样的速度和精度。 可以是中空的并且涂有金的细长构件可以是流体壳体的延伸件或光学外壳的一部分。 在一些实施例中，NIT监视器经由电缆连接到主调节电路板，用于在远程位置处理温度测量。

    System and Method for Calibration of a Flow Device
    42.
    发明申请
    System and Method for Calibration of a Flow Device 审中-公开
    用于校准流量装置的系统和方法

    公开(公告)号：US20080221822A1

    公开(公告)日：2008-09-11

    申请号：US11659710

    申请日：2005-08-12

    申请人： Marc Laverdiere ,  Robert F. Mcloughlin ,  J. Karl Niermeyer

    发明人： Marc Laverdiere ,  Robert F. Mcloughlin ,  J. Karl Niermeyer

    IPC分类号： G01F25/00

    CPC分类号： G01F25/0007 ,  G01F1/34 ,  G05B13/024

    摘要： Embodiments of the present invention provide a system and method for rapid calibration of a flow device. A flow device can be provided with a calibration flow curve (e.g., represented by an nth degree polynomial) by the manufacturer or a third party. The calibration curve can be adjusted for a process fluid and the system for which the flow device is actually installed using one or more correction factors. The correction factors can be determined for the flow curve based on a simple empirical test or fluid properties of the process fluid. The corrected flow curve is then saved at the flow device so that it can be used for future flow control.

    摘要翻译： 本发明的实施例提供了一种用于流量装置的快速校准的系统和方法。 流量装置可以由制造商或第三方提供校准流量曲线（例如，由第n个/次多项式表示）。 可以使用一个或多个校正因子对过程流体和实际安装流量装置的系统调整校准曲线。 可以基于简单的经验测试或过程流体的流体性质来确定流量曲线的校正因子。 然后将校正的流量曲线保存在流量装置中，使其可用于将来的流量控制。

    Separation module
    43.
    发明申请
    Separation module 失效
    分离模块

    公开(公告)号：US20070102924A1

    公开(公告)日：2007-05-10

    申请号：US11599195

    申请日：2006-11-14

    申请人： J. Niermeyer ,  Marc Laverdiere ,  Ralph Stankowski ,  Joseph Smith

    发明人： J. Niermeyer ,  Marc Laverdiere ,  Ralph Stankowski ,  Joseph Smith

    IPC分类号： F16L39/00

    CPC分类号： F16L39/00

    摘要： A separation module is provided having a housing, a filter within the housing and at least one outlet and one inlet. The outlet and inlet are positioned to mate with fittings of a pump housing. A stationary receptor positioned between the pump housing and the separation module has a pivot line and two shelves on its outer surface which permit fitting the separation module in a stationary receptor adjacent the pumping housing.

    摘要翻译： 提供了一种分离模块，其具有壳体，壳体内的过滤器和至少一个出口和一个入口。 出口和入口定位成与泵壳体的配件配合。 位于泵壳体和分离模块之间的固定接收器在其外表面上具有枢转线和两个搁架，其允许将分离模块安装在靠近泵壳体的静止接收器中。

    System for controlling fluid flow
    44.
    发明申请
    System for controlling fluid flow 有权
    控制流体流动的系统

    公开(公告)号：US20060276935A1

    公开(公告)日：2006-12-07

    申请号：US11502048

    申请日：2006-08-10

    申请人： Marc Laverdiere ,  Robert McLoughlin

    发明人： Marc Laverdiere ,  Robert McLoughlin

    IPC分类号： G05D7/00

    CPC分类号： G05D7/0635 ,  H01L21/6715 ,  Y10T137/0989

    摘要： Embodiments of the present invention provide systems and methods of controlling fluid dispense to ensure clean break off of fluid at the end of a dispense process and to reduce crystallization of fluid in the dispense nozzle. One embodiment of the present invention can include a controller that can, generate a flow control signal to cause a control valve to close according to a first close rate parameter for a first segment of the close range and to generate the flow control signal to cause the control valve to close according to a second close rate parameter for a second segment of the close range.

    摘要翻译： 本发明的实施例提供了控制流体分配的系统和方法，以确保在分配过程结束时清洁液体的分离并减少分配喷嘴中的流体结晶。 本发明的一个实施例可以包括一个控制器，该控制器可以产生一个流量控制信号，以使控制阀根据第一关闭速率参数的关闭速率参数关闭，并产生流量控制信号， 控制阀根据第二关闭速率参数关闭近距离的第二段。