公开(公告)号：US20130260316A1

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：US13905170

申请日：2013-05-30

Applicant: JSR CORPORATION

Inventor： Ken MARUYAMA

IPC: G03F7/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  C07C309/06 ,  C08F220/10 ,  C08K5/42 ,  C08L33/04 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/124 ,  Y10S430/126 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/20

Abstract: A radiation-sensitive resin composition includes a compound represented by a formula (1), and a base polymer. A represents —CO— or —CH2—. R1 represents a hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 30 ring atoms, or a combination of a first group and a second group. The first group is —CO—, —COO—, —OCO—, —O—CO—O—, —NHCO—, —CONH—, —NH—CO—O—, —O—CO—NH—, —NH—, —S—, —SO—, —SO2—, —SO2—O— or a combination thereof, and the second group is a hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 30 ring atoms or a combination thereof. A part or all of hydrogen atoms included in the hydrocarbon group and the heterocyclic group are not substituted or substituted. M+ represents a monovalent cation.

Abstract translation: 辐射敏感性树脂组合物包含由式（1）表示的化合物和基础聚合物。 A表示-CO-或-CH2-。 R1表示碳原子数1〜30的烃基，环原子数3〜30的杂环基或第一基和第二基的组合。 第一组为-CO-，-COO-，-OCO-，-O-CO-O-，-NHCO-，-CONH-，-NH-CO-O-，-O-CO-NH-，-NH - ， - S - ， - SO - ， - SO 2 - ， - SO 2 -O-或其组合，第二组是具有1至30个碳原子的烃基，具有3至30个环原子的杂环基或 的组合。 包含在烃基和杂环基中的部分或全部氢原子不被取代或取代。 M +表示一价阳离子。