公开(公告)号：US20050014090A1

公开(公告)日：2005-01-20

申请号：US10845620

申请日：2004-05-13

申请人： Taku Hirayama ,  Hideo Hada ,  Satoshi Fujimura ,  Takeshi Iwai ,  Mitsuru Sato ,  Ryoichi Takasu ,  Toshikazu Tachikawa ,  Jun Iwashita ,  Keita Ishiduka ,  Tomotaka Yamada ,  Toshikazu Takayama ,  Masaaki Yoshida

发明人： Taku Hirayama ,  Hideo Hada ,  Satoshi Fujimura ,  Takeshi Iwai ,  Mitsuru Sato ,  Ryoichi Takasu ,  Toshikazu Tachikawa ,  Jun Iwashita ,  Keita Ishiduka ,  Tomotaka Yamada ,  Toshikazu Takayama ,  Masaaki Yoshida

IPC分类号： G03C1/76 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70616 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/70341 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： A resist composition which is stable relative to solvents used in immersion lithography processes and displays excellent sensitivity and resist pattern profile, and a method of forming a resist pattern that uses such a resist composition are provided. The resist composition is in accordance with predetermined parameters, or is a positive resist composition comprising a resin component (A) which contains an acid dissociable, dissolution inhibiting group and displays increased alkali solubility under the action of acid, an acid generator component (B), and an organic solvent (C), wherein the component (A) contains a structural unit (a1) derived from a (meth)acrylate ester containing an acid dissociable, dissolution inhibiting group, but contains no structural units (a0), including structural units (a0-1) containing an anhydride of a dicarboxylic acid and structural units (a0-2) containing a phenolic hydroxyl group.

摘要翻译： 提供了相对于在浸没式光刻工艺中使用的溶剂是稳定的并且显示出优异的灵敏度和抗蚀剂图案轮廓的抗蚀剂组合物，以及形成使用这种抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的方法。 抗蚀剂组合物是根据预定参数，或是包含含有酸解离的溶解抑制基团并在酸的作用下显示增加的碱溶性的树脂组分（A）的阳性抗蚀剂组合物，酸产生剂组分（B） 和有机溶剂（C），其中，成分（A）含有来自含有酸解离性，溶解抑制基团但不含结构单元（a0）的（甲基）丙烯酸酯的结构单元（a1） 含有二羧酸的酸酐的单元（a0-1）和含有酚羟基的结构单元（a0-2）。

公开(公告)号：US06276861B1

公开(公告)日：2001-08-21

申请号：US09474263

申请日：1999-12-29

申请人： Toshikazu Tachikawa

发明人： Toshikazu Tachikawa

IPC分类号： B43K518

CPC分类号： B43K5/18

摘要： A writing instrument comprising a pen point receiver, a pen point and an ink introducing core member. The tip end portion of the pen point is formed to curve downwardly towards the tip end writing portion with respect to the base end portion of the pen point.

摘要翻译： 一种书写工具，包括笔尖接收器，笔尖和墨水引入芯部件。 笔尖的前端形成为相对于笔尖的基端部朝向顶端书写部分向下弯曲。