公开(公告)号：US07331714B2

公开(公告)日：2008-02-19

申请号：US11238196

申请日：2005-09-29

申请人： Deming Shu ,  Jorg M. Maser ,  Barry Lai ,  Franz Stefan Vogt ,  Martin V. Holt ,  Curt A. Preissner ,  Robert P. Winarski ,  Gregory B. Stephenson

发明人： Deming Shu ,  Jorg M. Maser ,  Barry Lai ,  Franz Stefan Vogt ,  Martin V. Holt ,  Curt A. Preissner ,  Robert P. Winarski ,  Gregory B. Stephenson

IPC分类号： H05G1/00 ,  G21K1/06 ,  G01N23/083 ,  G01N23/20 ,  G01N23/223

CPC分类号： G21K7/00 ,  G01N23/2252

摘要： A multifunctional hard x-ray nanoprobe instrument for characterization of nanoscale materials and devices includes a scanning probe mode with a full field transmission mode. The scanning probe mode provides fluorescence spectroscopy and diffraction contrast imaging. The full field transmission mode allows two-dimensional (2-D) imaging and tomography. The nanoprobe instrument includes zone plate optics for focusing and imaging. The nanoprobe instrument includes a stage group for positioning the zone plate optics. The nanoprobe instrument includes a specimen stage group for positioning the specimen. An enhanced laser Doppler displacement meter (LDDM) system provides two-dimensional differential displacement measurement in a range of nanometer resolution between the zone-plate optics and the sample holder. A digital signal processor (DSP) implements a real-time closed-loop feedback technique for providing differential vibration control between the zone-plate optics and the sample holder.

摘要翻译： 用于表征纳米材料和器件的多功能硬x射线纳米探针仪器包括具有全场传输模式的扫描探针模式。 扫描探针模式提供荧光光谱和衍射对比成像。 全场传输模式允许二维（2-D）成像和层析成像。 纳米探针仪器包括用于聚焦和成像的区域板光学器件。 纳米探针仪器包括用于定位区域板光学元件的阶段组。 纳米探针仪器包括用于定位样本的样品台组。 增强的激光多普勒位移计（LDDM）系统在区域板光学器件和样品架之间提供了纳米分辨率范围内的二维差分位移测量。 数字信号处理器（DSP）实现了实时闭环反馈技术，用于在区域板光学器件和样品架之间提供差分振动控制。

公开(公告)号：US20070071164A1

公开(公告)日：2007-03-29

申请号：US11238196

申请日：2005-09-29

申请人： Deming Shu ,  Jorg Maser ,  Barry Lai ,  Franz Vogt ,  Martin Holt ,  Curt Preissner ,  Robert Winarski ,  Gregory Stephenson

发明人： Deming Shu ,  Jorg Maser ,  Barry Lai ,  Franz Vogt ,  Martin Holt ,  Curt Preissner ,  Robert Winarski ,  Gregory Stephenson

IPC分类号： G21K7/00

CPC分类号： G21K7/00 ,  G01N23/2252

摘要： A multifunctional hard x-ray nanoprobe instrument for characterization of nanoscale materials and devices includes a scanning probe mode with a full field transmission mode. The scanning probe mode provides fluorescence spectroscopy and diffraction contrast imaging. The full field transmission mode allows two-dimensional (2-D) imaging and tomography. The nanoprobe instrument includes zone plate optics for focusing and imaging. The nanoprobe instrument includes a stage group for positioning the zone plate optics. The nanoprobe instrument includes a specimen stage group for positioning the specimen. An enhanced laser Doppler displacement meter (LDDM) system provides two-dimensional differential displacement measurement in a range of nanometer resolution between the zone-plate optics and the sample holder. A digital signal processor (DSP) implements a real-time closed-loop feedback technique for providing differential vibration control between the zone-plate optics and the sample holder.

摘要翻译： 用于表征纳米材料和器件的多功能硬x射线纳米探针仪器包括具有全场传输模式的扫描探针模式。 扫描探针模式提供荧光光谱和衍射对比成像。 全场传输模式允许二维（2-D）成像和层析成像。 纳米探针仪器包括用于聚焦和成像的区域板光学器件。 纳米探针仪器包括用于定位区域板光学元件的阶段组。 纳米探针仪器包括用于定位样本的样品台组。 增强的激光多普勒位移计（LDDM）系统在区域板光学器件和样品架之间提供了纳米分辨率范围内的二维差分位移测量。 数字信号处理器（DSP）实现了实时闭环反馈技术，用于在区域板光学器件和样品架之间提供差分振动控制。