公开(公告)号：US06418352B1

公开(公告)日：2002-07-09

申请号：US09207957

申请日：1998-12-09

申请人： Raymond W. Ellis ,  Andrew S. Extine ,  Bedford E. Hardee ,  Michael R. Lemchak ,  Michael C. Simmons

发明人： Raymond W. Ellis ,  Andrew S. Extine ,  Bedford E. Hardee ,  Michael R. Lemchak ,  Michael C. Simmons

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： G03F7/7075 ,  G05B19/4183 ,  G05B2219/33192 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/49302 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/087 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/16 ,  Y02P90/265 ,  Y02P90/86

摘要： A module for use in a system for processing articles, in which the system includes a plurality of machine tools for processing articles, a pod for carrying the articles to be processed by the machine tools from one machine tool to another, a host processing controller associated with the machine tools for controlling the operation thereof, a robot connected to each machine tool for receiving a pod, opening the pod and for transporting the articles from within the pod into position on the machine tool for processing. An identification device is carried by the pod for identifying a particular pod and the articles carried in the pod. The module includes a single wire connection between the identification system, the host controller and the robot. The module has a microprocessor to identify the source of a signal and for routing the signal between the identification system and the host controller and between the host controller and the robot depending on its source.

摘要翻译： 一种用于处理物品的系统的模块，其中所述系统包括用于处理物品的多个机床，用于将由所述机床处理的物品从一个机床运送到另一个机器的吊舱，主机处理控制器相关联 用于控制其操作的机床，连接到每个机床的机器，用于接收荚，打开荚，并将物品从荚内运送到机床上的位置进行处理。 识别装置由吊舱承载，用于识别特定吊舱和在吊舱中携带的物品。 该模块包括识别系统，主机控制器和机器人之间的单线连接。 该模块具有微处理器，用于识别信号的来源，并根据其来源在标识系统和主机控制器之间以及主机控制器和机器人之间路由信号。

公开(公告)号：US06138058A

公开(公告)日：2000-10-24

申请号：US3542

申请日：1998-01-06

申请人： Kenneth D. Van Antwerp, Jr. ,  Bedford E. Hardee ,  Dennis L. Myers

发明人： Kenneth D. Van Antwerp, Jr. ,  Bedford E. Hardee ,  Dennis L. Myers

IPC分类号： G03F7/20 ,  G05B19/12 ,  G05B19/418 ,  H01L21/00 ,  G06F17/00

CPC分类号： H01L21/67294 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/7075 ,  G05B19/128 ,  G05B19/4183 ,  G05B2219/31432 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/49302 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/14

摘要： An apparatus for tracking items in a factory is disclosed. The apparatus is partially well suited for manufacturing environments wherein there are a plurality of items to be kept together in groups. The invention is particularly useful in semiconductor processing facilities wherein batches of semiconductor wafers to be processed are placed in wafer carriers which are, in turn, placed in work-in-progress boxes. Applying identification tags to one item that can be read and processed by a microterminal attached to the other item provides an effective way to prevent improper grouping of the items which can lead to misprocessing or handling of the batches of wafers.

摘要翻译： 公开了一种用于跟踪工厂中的物品的装置。 该装置部分地非常适用于其中存在多个待组合的物品的制造环境。 本发明在半导体处理设备中特别有用，其中要处理的半导体晶片的批次被放置在晶片载体中，晶片载体又放置在在制品中。 将识别标签应用于可由附加到另一项的微型终端读取和处理的一个项目，提供了一种有效的方法来防止可能导致错误处理或处理批次的晶片的物品的不正确分组。