公开(公告)号：US20070299176A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11341334

申请日：2006-01-27

申请人： Thomas Markley ,  Scott Weigel ,  Christine Kretz ,  Thomas Braymer ,  James Mac Dougall ,  Cecilia Petit

发明人： Thomas Markley ,  Scott Weigel ,  Christine Kretz ,  Thomas Braymer ,  James Mac Dougall ,  Cecilia Petit

IPC分类号： B05D3/02 ,  B05D3/06 ,  B60C1/00 ,  C08L83/04

CPC分类号： C09D183/04 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/31695

摘要： A photodefinable, organosilicate material having a dielectric constant (κ) of 3.5 or below and a method for making and using same, for example, in an electronic device, is described herein. In one aspect, there is provided a composition for preparing a photodefinable material comprising: a silica source capable of being sol-gel processed and having a molar ratio of carbon to silicon within the silica source contained therein of at least 0.5 or greater; a photoactive compound; optionally a solvent; and water provided the composition contains 0.1% by weight or less of an added acid where the acid has a molecular weight of 500 or less.

摘要翻译： 本文描述了具有3.5或更低介电常数（κ）的可光缩合的有机硅酸盐材料及其制造和使用方法，例如在电子设备中。 一方面，提供了一种用于制备可光限定材料的组合物，其包含：能够进行溶胶 - 凝胶加工并且其中含有的二氧化硅源中的碳与硅的摩尔比至少为0.5以上的二氧化硅源; 光敏化合物; 任选的溶剂; 和水，只要该组合物含有0.1重量％以下的酸，其中酸的分子量为500以下。