公开(公告)号：US4911597A

公开(公告)日：1990-03-27

申请号：US89926

申请日：1987-08-25

申请人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

发明人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H05K13/02

CPC分类号： H05K13/021 ,  H01L21/67 ,  Y10S414/13 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139 ,  Y10S414/14 ,  Y10S414/141

摘要： A wafer processing system includes an autoloader mounted within a load lock for providing batch, cassette-to-cassette automatic wafer transfer between the semiconductor processing chamber and cassette load and unload positions within the load lock. The system provides rapid, contamination-free loading and unloading of semiconductor wafers.

摘要翻译： 晶片处理系统包括安装在负载锁中的自动装载机，用于在半导体处理室和装载锁之间的卸载位置之间提供批处理，盒到盒自动晶片传送。 该系统提供快速，无污染的半导体晶片装载和卸载。

公开(公告)号：US5280983A

公开(公告)日：1994-01-25

申请号：US963006

申请日：1992-10-19

申请人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

发明人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

IPC分类号： H01L21/67 ,  H02H9/00 ,  H05K13/02 ,  B66C1/42

CPC分类号： H05K13/021 ,  H01L21/67 ,  H02H9/005 ,  Y10S294/902

摘要： A wafer processing system includes an autoloader mounted within a load lock for providing batch, cassette-to-cassette automatic wafer transfer between the semiconductor processing chamber and cassette load and unload positions within the load lock. The system provides rapid, contamination-free loading and unloading of semiconductor wafers.

摘要翻译： 晶片处理系统包括安装在负载锁中的自动装载机，用于在半导体处理室和装载锁之间的卸载位置之间提供批处理，盒到盒自动晶片传送。 该系统提供快速，无污染的半导体晶片装载和卸载。

公开(公告)号：US5224809A

公开(公告)日：1993-07-06

申请号：US816525

申请日：1991-12-30

申请人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

发明人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/67 ,  H05K13/02

CPC分类号： H01L21/67 ,  H05K13/021 ,  Y10S414/13

摘要： A wafer processing system includes an autoloader mounted within a load lock for providing batch, cassette-to-cassette automatic wafer transfer between the semiconductor processing chamber and cassette load and unload positions within the load lock. The system provides rapid, contamination-free loading and unloading of semiconductor wafers.

摘要翻译： 晶片处理系统包括安装在负载锁中的自动装载机，用于在半导体处理室和装载锁之间的卸载位置之间提供批处理，盒到盒自动晶片传送。 该系统提供快速，无污染的半导体晶片装载和卸载。