公开(公告)号：US5751156A

公开(公告)日：1998-05-12

申请号：US486960

申请日：1995-06-07

申请人： Christiaan Muller ,  Chong Wu Zhou ,  Mark A. Reed

发明人： Christiaan Muller ,  Chong Wu Zhou ,  Mark A. Reed

IPC分类号： G01B7/16 ,  G01L1/00 ,  G01P15/08 ,  G01R19/00 ,  G01R27/14

CPC分类号： G01P15/0894 ,  B82Y15/00 ,  G01B7/16 ,  G01L1/005

摘要： A micromechanical sensor in which the impedance of a gap in a conductor, under tunnelling current conditions, is sensed to provide an indication of deflection in the conductor. This provides a new way to sense acceleration, strain, and other parameters which can be translated into a deflection.

摘要翻译： 一种微机械传感器，其中在隧道电流条件下，导体中的间隙的阻抗被感测以提供导体中的偏转的指示。 这提供了一种感觉可以转化为偏转的加速度，应变和其他参数的新方法。