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1.发明申请METHOD FOR PATTERNING NANO-SCALE PATTERNS OF MOLECULES ON A SURFACE OF A MATERIAL 审中-公开在材料表面上绘制分子的纳米尺度图案的方法公开(公告)号：US20100196661A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：US12363389
申请日：2009-01-30
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q80/00 , G11B9/14 , G11B11/007 , Y10T428/24355
摘要： Probe-based methods for patterning a surface of a material are described. In particular, high resolution patterning of molecules on a surface of a material, such as nano-scale patterns with feature sizes of less than 30 nanometers, are described. In one aspect, a method for patterning a surface of a material includes providing a material having a polymer film. A heated, nano-scale dimensioned probe is then used to desorb molecules upon interacting with the film. The film includes a network of molecules (such as molecular glasses) which are cross-linked via intermolecular (noncovalent) bonds, such as hydrogen bonds.
摘要翻译： 描述了用于图案化材料表面的基于探针的方法。 特别地，描述了材料表面上的分子的高分辨率图案化，例如特征尺寸小于30纳米的纳米尺度图案。 一方面，用于图案化材料表面的方法包括提供具有聚合物膜的材料。 然后使用加热的纳米级尺寸的探针在与膜相互作用时解吸分子。 该膜包括通过分子间（非共价）键如氢键交联的分子网络（如分子玻璃）。
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2.发明申请SCANNING PROBE LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD, AND MATERIAL ACCORDINGLY OBTAINED 审中-公开扫描探针平移装置和方法以及根据实际获得的材料公开(公告)号：US20120255073A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：US13501487
申请日：2010-10-13
申请人： Michel Despont , Urs T. Duerig , Bernd W. Gotsmann , Armin W. Knoll , David Santos Pires , Peter Vettiger
发明人： Michel Despont , Urs T. Duerig , Bernd W. Gotsmann , Armin W. Knoll , David Santos Pires , Peter Vettiger
CPC分类号： G03F7/0002
摘要： A scanning probe lithography (SPL) apparatus, an SPL method, and a material having a surface thickness patterned according to the SPL method. The apparatus includes: two or more probes with respective shapes, where the respective shapes are different and the respective shapes form, in operation, different patterns in a thickness of a surface of a material processed with the apparatus.
摘要翻译： 扫描探针光刻（SPL）装置，SPL法和具有根据SPL方法图案化的表面厚度的材料。 该装置包括：具有相应形状的两个或更多个探针，其中各个形状不同，并且各个形状在操作中形成在用该装置处理的材料的表面的厚度上的不同图案。
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