公开(公告)号：US20120255073A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13501487

申请日：2010-10-13

申请人： Michel Despont ,  Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  David Santos Pires ,  Peter Vettiger

发明人： Michel Despont ,  Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  David Santos Pires ,  Peter Vettiger

IPC分类号： G01Q80/00 ,  G01Q70/10

CPC分类号： G03F7/0002

摘要： A scanning probe lithography (SPL) apparatus, an SPL method, and a material having a surface thickness patterned according to the SPL method. The apparatus includes: two or more probes with respective shapes, where the respective shapes are different and the respective shapes form, in operation, different patterns in a thickness of a surface of a material processed with the apparatus.

摘要翻译： 扫描探针光刻（SPL）装置，SPL法和具有根据SPL方法图案化的表面厚度的材料。 该装置包括：具有相应形状的两个或更多个探针，其中各个形状不同，并且各个形状在操作中形成在用该装置处理的材料的表面的厚度上的不同图案。

公开(公告)号：US20100196661A1

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：US12363389

申请日：2009-01-30

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  James Lupton Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  David Santos Pires

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  James Lupton Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  David Santos Pires

IPC分类号： B32B3/10 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24355

摘要： Probe-based methods for patterning a surface of a material are described. In particular, high resolution patterning of molecules on a surface of a material, such as nano-scale patterns with feature sizes of less than 30 nanometers, are described. In one aspect, a method for patterning a surface of a material includes providing a material having a polymer film. A heated, nano-scale dimensioned probe is then used to desorb molecules upon interacting with the film. The film includes a network of molecules (such as molecular glasses) which are cross-linked via intermolecular (noncovalent) bonds, such as hydrogen bonds.

摘要翻译： 描述了用于图案化材料表面的基于探针的方法。 特别地，描述了材料表面上的分子的高分辨率图案化，例如特征尺寸小于30纳米的纳米尺度图案。 一方面，用于图案化材料表面的方法包括提供具有聚合物膜的材料。 然后使用加热的纳米级尺寸的探针在与膜相互作用时解吸分子。 该膜包括通过分子间（非共价）键如氢键交联的分子网络（如分子玻璃）。

公开(公告)号：US09977050B2

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：US12940079

申请日：2010-11-05

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

IPC分类号： G01Q70/08 ,  G01Q60/36 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： A method and a scanning probe microscope (SPM) for scanning a surface of a material. The method and SPM have a cantilever sensor configured to exhibit both a first spring behavior and a second, stiffer spring behavior. While operating the SPM in contact mode, the sensor is scanned on the material surface and a first spring behavior of the sensor (e.g. a fundamental mode of flexure thereof) is excited by deflection of the sensor by the material surface. Also while operating the SPM in contact mode, excitation means are used to excite a second spring behavior of the sensor at a resonance frequency thereof (e.g. one or more higher-order resonant modes) of the cantilever sensor to modulate an interaction of the sensor and the material surface and thereby reduce the wearing of the material surface.

公开(公告)号：US08374071B2

公开(公告)日：2013-02-12

申请号：US12130283

申请日：2008-05-30

申请人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

发明人： Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Urs T. Duerig

IPC分类号： G11B7/00

CPC分类号： G11B9/149 ,  G01Q80/00 ,  G11B5/743 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24802

摘要： The present invention relates to a data storage device comprising: a polymer layer for storing data in the form of topographic features; a substrate comprising a conductor, a first surface of the polymer layer being provided on the substrate; and at least one probe which, when the device is in use, interacts with a second surface of the polymer layer, wherein, when in use, the data storage device is operable to apply a first electrical potential to the at least one probe relative to the substrate, thereby to cause a protrusion to be formed on the second surface of the polymer layer.

摘要翻译： 数据存储装置技术领域本发明涉及一种数据存储装置，包括：用于以地形特征的形式存储数据的聚合物层; 包括导体的衬底，所述聚合物层的第一表面设置在所述衬底上; 以及当所述装置在使用时与所述聚合物层的第二表面相互作用的至少一个探针，其中当使用时，所述数据存储装置可操作以相对于所述至少一个探针施加第一电位 从而在聚合物层的第二表面上形成突起。

公开(公告)号：US20100026332A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：US12544246

申请日：2009-08-20

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： G01R31/02

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00

摘要： A device for sensing a position of a probe relative to a reference medium, the probe comprising a heater element with a temperature dependent electrical resistance and being adapted to determine probe position by measuring a parameter associated to a thermal relaxation time of the heater element.

摘要翻译： 一种用于感测探针相对于参考介质的位置的装置，所述探针包括具有温度依赖性电阻的加热器元件，并且适于通过测量与所述加热器元件的热松弛时间相关联的参数来确定探针位置。

公开(公告)号：US08389205B2

公开(公告)日：2013-03-05

申请号：US12482500

申请日：2009-06-11

申请人： Urs T. Duerig ,  Jane E. Frommer ,  Bernd W. Gotsmann ,  James L. Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  Robert D. Miller ,  David Pires ,  Charles G. Wade

发明人： Urs T. Duerig ,  Jane E. Frommer ,  Bernd W. Gotsmann ,  James L. Hedrick ,  Armin W. Knoll ,  Robert D. Miller ,  David Pires ,  Charles G. Wade

IPC分类号： G03F7/26

CPC分类号： C08G2/06 ,  C08G2/14 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/16 ,  G03F7/2049

摘要： The invention concerns a method for patterning a surface of a material. A substrate having a polymer film thereon is provided. The polymer is a selectively reactive polymer (e.g. thermodynamically unstable): it is able to unzip upon suitable stimulation. A probe is used to create patterns on the film. During the patterning, the film is locally stimulated for unzipping polymer chains. Hence, a basic idea is to provide a stimulus to the polymeric material, which in turn spontaneously decomposes e.g. into volatile constituents. For example, the film is thermally stimulated in order to break a single bond in a polymer chain, which is sufficient to trigger the decomposition of the entire polymer chain.

摘要翻译： 本发明涉及用于图案化材料表面的方法。 提供其上具有聚合物膜的基板。 聚合物是选择性反应性聚合物（例如热力学不稳定的）：它能够在合适的刺激下解压缩。 探针用于在电影上创建图案。 在图案化期间，膜被局部刺激用于解链聚合物链。 因此，基本思想是向聚合物材料提供刺激，其又自发分解，例如， 变成挥发性成分。 例如，为了破坏聚合物链中的单键，该膜被热刺激，这足以引发整个聚合物链的分解。

公开(公告)号：US07952369B2

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：US12544246

申请日：2009-08-20

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： G01R31/02

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00

摘要： A device for sensing a position of a probe relative to a reference medium, the probe comprising a heater element with a temperature dependent electrical resistance and being adapted to determine probe position by measuring a parameter associated to a thermal relaxation time of the heater element.

摘要翻译： 一种用于感测探针相对于参考介质的位置的装置，所述探针包括具有温度依赖性电阻的加热器元件，并且适于通过测量与所述加热器元件的热松弛时间相关联的参数来确定探针位置。

公开(公告)号：US20110113517A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：US12940079

申请日：2010-11-05

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll ,  Mark Alfred Lantz

IPC分类号： G01Q70/08

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： A method and a scanning probe microscope (SPM) for scanning a surface of a material. The method and SPM have a cantilever sensor configured to exhibit both a first spring behavior and a second, stiffer spring behavior. While operating the SPM in contact mode, the sensor is scanned on the material surface and a first spring behavior of the sensor (e.g. a fundamental mode of flexure thereof) is excited by deflection of the sensor by the material surface. Also while operating the SPM in contact mode, excitation means are used to excite a second spring behavior of the sensor at a resonance frequency thereof (e.g. one or more higher-order resonant modes) of the cantilever sensor to modulate an interaction of the sensor and the material surface and thereby reduce the wearing of the material surface.

摘要翻译： 用于扫描材料表面的方法和扫描探针显微镜（SPM）。 该方法和SPM具有构造成展现第一弹簧性能和第二较硬弹簧特性的悬臂传感器。 当在接触模式下操作SPM时，传感器被扫描在材料表面上，传感器的第一弹簧特性（例如其基本弯曲模式）被材料表面的传感器偏转所激发。 同时在接触模式下操作SPM时，激励装置用于在悬臂传感器的共振频率（例如一个或多个高次谐振模式）下激发传感器的第二弹簧特性，以调制传感器和 材料表面，从而减少材料表面的磨损。

公开(公告)号：US20100059383A1

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：US12375417

申请日：2007-07-18

申请人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

发明人： Urs T. Duerig ,  Bernd W. Gotsmann ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： C25D1/00

CPC分类号： G11B9/1472 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007

摘要： The present invention relates to a device for forming topographic features on a surface of a polymer layer comprising: a polymer layer (1); a substrate (2) comprising a conductor, a first surface (1a) of the polymer layer (1) being provided on the substrate (2); and at least one electrode (3) which, when the device is in use, interacts with a second surface (1b) of the polymer layer (1), wherein, when in use, the device is operable to apply a first electrical potential (P1) to the at least one electrode (3) relative to the substrate (2), thereby to cause a protrusion (4) to be formed on the second surface (1b) of the polymer layer (1).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在聚合物层的表面上形成地形特征的装置，包括：聚合物层（1）; 包括导体的基板（2），所述聚合物层（1）的第一表面（1a）设置在所述基板（2）上; 以及至少一个电极（3），当所述装置在使用中时，所述电极（3）与所述聚合物层（1）的第二表面（1b）相互作用，其中当使用时所述装置可操作以施加第一电位 P1）相对于基板（2）至少一个电极（3），从而在聚合物层（1）的第二表面（1b）上形成突起（4）。

公开(公告)号：US20090255462A1

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：US12272756

申请日：2008-11-17

申请人： Rachel Cannara ,  Bernd W. Gotsmann ,  Urs T. Duerig ,  Harish Bhaskaran ,  Armin W. Knoll

发明人： Rachel Cannara ,  Bernd W. Gotsmann ,  Urs T. Duerig ,  Harish Bhaskaran ,  Armin W. Knoll

IPC分类号： B05C11/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G01Q80/00

摘要： Device having features formed utilizing probe-based lithography, including: depositing a preceramic polymer on a substrate; writing nanoscale features in the polymer by locally transforming the preceramic polymer via a chemical reaction causing it to undergo a permanent phase change into hardened, ceramic material, the chemical reaction activated with a prescribed activation energy supplied by heat and/or pressure applied by a probe tip; depositing new layers and continuing according to a desired three-dimensional pattern; by cross-linking unactivated preceramic polymer to act as a support medium that isolates a formed ceramic structure mechanically and/or electrically; and where the ceramic pattern is made electrically conductive by (a) incorporating dopant elements into or onto the preceramic polymer, or (b) performing the write step in a chemically-active environment that supplies dopant atoms during the chemical reaction.

摘要翻译： 具有利用基于探针的光刻形成的特征的器件包括：在衬底上沉积预陶瓷聚合物; 通过化学反应局部转化预陶瓷聚合物，使其经历永久相变成硬化的陶瓷材料，从而在聚合物中形成纳米尺度特征，用由探针提供的加热和/或压力提供的规定的活化能激活化学反应 小费; 沉积新层并根据期望的三维图案继续; 通过将未活化的前陶瓷聚合物交联以作为机械和/或电隔离形成的陶瓷结构的载体介质; 并且其中陶瓷图案通过（a）将掺杂剂元素结合到预陶瓷聚合物中或其上而导致导电，或（b）在化学反应期间提供掺杂剂原子的化学活性环境中进行写入步骤。