公开(公告)号：US20070212486A1

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：US11547461

申请日：2005-05-20

申请人： Dmitry Dinega ,  Christopher Weikart

发明人： Dmitry Dinega ,  Christopher Weikart

IPC分类号： C23C16/40

CPC分类号： C23C16/401 ,  C23C16/405 ,  C23C16/407 ,  C23C16/50

摘要： A metal oxide coating can be applied to a substrate at a relatively low temperature and at or near atmospheric pressure by carrying a metal oxide precursor and an oxidizing agent through a corona discharge or a dielectric barrier discharge to form the metal oxide and deposit it onto to the substrate.

摘要翻译： 金属氧化物涂层可以在相对较低的温度和大气压附近的基底上，通过电晕放电或电介质阻挡放电载入金属氧化物前体和氧化剂，形成金属氧化物并将其沉积到 底物。