公开(公告)号：US20140093645A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：US13631135

申请日：2012-09-28

申请人： Elijah J. THIMSEN ,  Shannon C. RIHA ,  Alex B.F. MARTINSON ,  Jeffrey W. ELAM ,  Michael J. PELLIN

发明人： Elijah J. THIMSEN ,  Shannon C. RIHA ,  Alex B.F. MARTINSON ,  Jeffrey W. ELAM ,  Michael J. PELLIN

IPC分类号： C23C16/30

CPC分类号： C23C16/305 ,  C23C16/306 ,  C23C16/45529 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/56

摘要： Methods and systems are provided for synthesis and deposition of chalcogenides (including Cu2ZnSnS4). Binary compounds, such as metal sulfides, can be deposited by alternating exposures of the substrate to a metal cation precursor and a chalcogen anion precursor with purge steps between.

摘要翻译： 提供了硫族化合物（包括Cu2ZnSnS4）的合成和沉积的方法和系统。 二元化合物，例如金属硫化物，可通过将衬底交替暴露于金属阳离子前体和硫族元素阴离子前体之间进行沉积，其间具有吹扫步骤。

公开(公告)号：US20090056628A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US12263616

申请日：2008-11-03

申请人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

发明人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C16/54

CPC分类号： C30B29/605 ,  B82Y30/00 ,  C01B19/007 ,  C01G1/00 ,  C01G1/02 ,  C01P2004/04 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C30B7/005 ,  C30B25/105 ,  Y10S977/834 ,  Y10T117/10 ,  Y10T117/102 ,  Y10T117/104 ,  Y10T117/108

摘要： Methods and apparatus for producing nanoparticles, including single-crystal semiconductor nanoparticles, are provided. The methods include the step of generating a constricted radiofrequency plasma in the presence of a precursor gas containing precursor molecules to form nanoparticles. Single-crystal semiconductor nanoparticles, including photoluminescent silicon nanoparticles, having diameters of no more than 10 nm may be fabricated in accordance with the methods.

摘要翻译： 提供了包括单晶半导体纳米颗粒在内的生产纳米颗粒的方法和装置。 所述方法包括在含有前体分子的前体气体存在下产生收缩的射频等离子体以形成纳米颗粒的步骤。 可以根据这些方法制造直径不大于10nm的单晶半导体纳米颗粒，包括光致发光硅纳米颗粒。

公开(公告)号：US07446335B2

公开(公告)日：2008-11-04

申请号：US11155340

申请日：2005-06-17

申请人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

发明人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

IPC分类号： H01L29/04

CPC分类号： C30B29/605 ,  B82Y30/00 ,  C01B19/007 ,  C01G1/00 ,  C01G1/02 ,  C01P2004/04 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C30B7/005 ,  C30B25/105 ,  Y10S977/834 ,  Y10T117/10 ,  Y10T117/102 ,  Y10T117/104 ,  Y10T117/108

摘要： Methods and apparatus for producing nanoparticles, including single-crystal semiconductor nanoparticles, are provided. The methods include the step of generating a constricted radiofrequency plasma in the presence of a precursor gas containing precursor molecules to form nanoparticles. Single-crystal semiconductor nanoparticles, including photoluminescent silicon nanoparticles, having diameters of no more than 10 nm may be fabricated in accordance with the methods.

摘要翻译： 提供了包括单晶半导体纳米颗粒在内的生产纳米颗粒的方法和装置。 所述方法包括在含有前体分子的前体气体存在下产生收缩的射频等离子体以形成纳米颗粒的步骤。 可以根据这些方法制造直径不大于10nm的单晶半导体纳米颗粒，包括光致发光硅纳米颗粒。

公开(公告)号：US08741386B2

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：US13631135

申请日：2012-09-28

申请人： Elijah J. Thimsen ,  Shannon C. Riha ,  Alex B. F. Martinson ,  Jeffrey W. Elam ,  Michael J. Pellin

发明人： Elijah J. Thimsen ,  Shannon C. Riha ,  Alex B. F. Martinson ,  Jeffrey W. Elam ,  Michael J. Pellin

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C16/305 ,  C23C16/306 ,  C23C16/45529 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/56

摘要： Methods and systems are provided for synthesis and deposition of chalcogenides (including Cu2ZnSnS4). Binary compounds, such as metal sulfides, can be deposited by alternating exposures of the substrate to a metal cation precursor and a chalcogen anion precursor with purge steps between.

摘要翻译： 提供了硫族化合物（包括Cu2ZnSnS4）的合成和沉积的方法和系统。 二元化合物，例如金属硫化物，可通过将衬底交替暴露于金属阳离子前体和硫族元素阴离子前体之间进行沉积，其间具有吹扫步骤。

公开(公告)号：US08016944B2

公开(公告)日：2011-09-13

申请号：US12263616

申请日：2008-11-03

申请人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

发明人： Uwe Kortshagen ,  Elijah J. Thimsen ,  Lorenzo Mangolini ,  Ameya Bapat ,  David Jurbergs

IPC分类号： C30B27/02 ,  C30B21/02 ,  C30B21/04

CPC分类号： C30B29/605 ,  B82Y30/00 ,  C01B19/007 ,  C01G1/00 ,  C01G1/02 ,  C01P2004/04 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C30B7/005 ,  C30B25/105 ,  Y10S977/834 ,  Y10T117/10 ,  Y10T117/102 ,  Y10T117/104 ,  Y10T117/108

摘要： Methods and apparatus for producing nanoparticles, including single-crystal semiconductor nanoparticles, are provided. The methods include the step of generating a constricted radiofrequency plasma in the presence of a precursor gas containing precursor molecules to form nanoparticles. Single-crystal semiconductor nanoparticles, including photoluminescent silicon nanoparticles, having diameters of no more than 10 nm may be fabricated in accordance with the methods.

摘要翻译： 提供了包括单晶半导体纳米颗粒在内的生产纳米颗粒的方法和装置。 所述方法包括在含有前体分子的前体气体存在下产生收缩的射频等离子体以形成纳米颗粒的步骤。 可以根据这些方法制造直径不大于10nm的单晶半导体纳米颗粒，包括光致发光硅纳米颗粒。