公开(公告)号：US06963391B2

公开(公告)日：2005-11-08

申请号：US10618264

申请日：2003-07-14

申请人： Jan Evert Van Der Werf ,  George Arie Jan Fockert ,  Hans Van Der Laan

发明人： Jan Evert Van Der Werf ,  George Arie Jan Fockert ,  Hans Van Der Laan

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68 ,  G03B27/54 ,  G01B11/00 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70591 ,  G03F9/7015 ,  G03F9/7088

摘要： A reflector alignment system uses an alignment beam propagating through a projection system that includes a mirror group to measure the apparent relative positions of two reference marks fixed to a reference frame on opposite sides of the projection system. Any movement of mirrors in the projection system will be detected as a shift in the apparent position of the reference marks.

摘要翻译： 反射器对准系统使用传播通过投影系统的对准束，该投影系统包括反射镜组，以测量固定在投影系统的相对侧上的参考框架的两个参考标记的表观相对位置。 投影系统中任何反射镜的移动将被检测为参考标记的表观位置的偏移。

公开(公告)号：US07505116B2

公开(公告)日：2009-03-17

申请号：US11202195

申请日：2005-08-12

申请人： Jan Evert Van Der Werf ,  George Arie Jan Fockert ,  Hans Van Der Laan

发明人： Jan Evert Van Der Werf ,  George Arie Jan Fockert ,  Hans Van Der Laan

IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42 ,  G01B11/00

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70591 ,  G03F9/7015 ,  G03F9/7088

摘要： A reflector alignment system uses an alignment beam propagating through a projection system that includes a mirror group to measure the apparent relative positions of two reference marks fixed to a reference frame on opposite sides of the projection system. Any movement of mirrors in the projection system will be detected as a shift in the apparent position of the reference marks.

摘要翻译： 反射器对准系统使用传播通过投影系统的对准束，该投影系统包括反射镜组，以测量固定在投影系统的相对侧上的参考框架的两个参考标记的表观相对位置。 投影系统中任何反射镜的移动将被检测为参考标记的表观位置的偏移。