公开(公告)号：US5363396A

公开(公告)日：1994-11-08

申请号：US809488

申请日：1992-01-14

申请人： Colin E. Webb ,  Gerard S. McGrady

发明人： Colin E. Webb ,  Gerard S. McGrady

IPC分类号： B01J7/00 ,  C01B7/00 ,  C01B7/01 ,  C01B7/20 ,  H01S3/036 ,  H01S3/225 ,  H01S3/72

CPC分类号： H01S3/036 ,  C01B7/00 ,  C01B7/20 ,  H01S3/225

摘要： A halogen generator which uses a material which absorbs commercially available halogen and, on being heated, releases the halogen in a very pure form, i.e. >99.7%. Such a generator can be used in a gas management system for an excimer laser in which the laser gas contains a halogen donor, an active rare gas and an inert gas diluent. Cleaners are provided to enable the removal from the laser gas mixture of contaminants which build up in operation of the laser and the halogen gas generator is provided to replace halogen lost in the contaminants and elsewhere. The generator can be operated even when the laser is in operation so that a desired partial pressure of the halogen can be maintained.

摘要翻译： PCT No.PCT / GB91 / 00799 Sec。 371日期：1992年1月14日 102（e）日期1992年1月14日PCT提交1991年5月21日PCT公布。 公开号WO91 / 18433 日期1991年11月28日。一种卤素发生器，其使用吸收市售卤素并在加热时以非常纯的形式释放卤素的材料，即> 99.7％。 这种发生器可以用于激光气体包含卤素供体，活性稀有气体和惰性气体稀释剂的准分子激光器的气体管理系统中。 提供清洁器以能够从激光器的操作中积聚的污染物的激光气体混合物中去除，并且提供卤素气体发生器以代替在污染物和其它地方丢失的卤素。 即使当激光器在操作中时，发电机也可以被操作，从而可以维持期望的卤素分压。