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发明授权
Extractor for an microcolumn, an alignment method for an extractor aperture to an electron emitter, and a measuring method and an alignment method using thereof 有权
标题翻译：用于微柱的提取器，用于提取器孔到电子发射器的对准方法，以及使用其的测量方法和对准方法

公开(公告)号：US07750295B2

公开(公告)日：2010-07-06

申请号：US10538284

申请日：2003-12-30

申请人： Ho Soeb Kim , Seung Joon Ahn , Dae Wook Kim

发明人： Ho Soeb Kim , Seung Joon Ahn , Dae Wook Kim

IPC分类号： H01J37/352

CPC分类号： H01J3/028 , H01J3/10 , H01J37/067 , H01J37/15 , H01J2237/1205 , H01J2237/1501 , H01J2237/1502 , H01J2237/24465 , H01J2237/24507

摘要： The present invention provides a new extractor for a micro-column and an alignment method of the aperture of the extractor and an electron emitter for a micro-column. Further, the present invention provides a measuring system, a method for measuring, and an alignment method using the principle of the alignment.

摘要翻译： 本发明提供了用于微柱的新提取器和提取器的孔径和用于微柱的电子发射器的对准方法。此外，本发明提供了使用对准原理的测量系统，测量方法和对准方法。