公开(公告)号：US06210982B1

公开(公告)日：2001-04-03

申请号：US09116803

申请日：1998-07-16

申请人： Clayton C. Williams ,  Jeffrey S. McMurray

发明人： Clayton C. Williams ,  Jeffrey S. McMurray

IPC分类号： G01R3126

CPC分类号： B82Y15/00 ,  G01R31/2648 ,  G01R31/2653 ,  Y10S977/854

摘要： A method and apparatus for generating a spatially improved and accurate dopant density profile of a doped material using scanning probe microscopy, wherein the new method utilizes an iterative process to approach a dopant density profile having a user definable accuracy by creating a new two-dimensional gradient model which accounts for gradients in doping concentrations within the doped material.

摘要翻译： 一种用于使用扫描探针显微镜产生掺杂材料的空间改善且精确的掺杂物密度分布的方法和装置，其中所述新方法利用迭代过程来接近具有用户可定义精度的掺杂剂密度分布，通过产生新的二维梯度 考虑掺杂材料内掺杂浓度梯度的模型。

公开(公告)号：US07214935B2

公开(公告)日：2007-05-08

申请号：US10711690

申请日：2004-09-30

申请人： Thomas A. Bauer ,  Steven H. Boettcher ,  Anthony G. Domenicucci ,  John G. Gaudiello ,  Leon J. Kimball ,  Jeffrey S. McMurray ,  Yun-Yu Wang

发明人： Thomas A. Bauer ,  Steven H. Boettcher ,  Anthony G. Domenicucci ,  John G. Gaudiello ,  Leon J. Kimball ,  Jeffrey S. McMurray ,  Yun-Yu Wang

IPC分类号： G01N1/32 ,  G01N23/04

CPC分类号： G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J2237/2614

摘要： A method for preparing a transmission electron microscopy (TEM) sample for electron holography includes forming a sacrificial material over an area of interest on the sample, and polishing the sample to a desired thickness, wherein the area of interest is protected from rounding during the polishing. The sacrificial material is removed from the sample following the polishing.

摘要翻译： 制备用于电子全息术的透射电子显微镜（TEM）样品的方法包括在样品上的感兴趣区域上形成牺牲材料，并将样品抛光至所需厚度，其中在抛光过程中保护感兴趣区域免于四舍五入 。 抛光后，从样品中除去牺牲材料。