公开(公告)号：US06245653B1

公开(公告)日：2001-06-12

申请号：US09275922

申请日：1999-03-24

申请人： Gerald Beyer ,  Karen Maex ,  Joris Proost

发明人： Gerald Beyer ,  Karen Maex ,  Joris Proost

IPC分类号： H01L2144

CPC分类号： H01L21/76876 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76858 ,  H01L21/76877

摘要： The present invention is about a method for filling an opening in an insulating layer in a fast and highly reliable way and can be used to fill openings such as trenches and via holes simultaneously. This method is based on the principle of reaction enhanced wetting and simultaneous seed layer formation. The idea is, in contrast to trying to avoid the TiAl3 formation, to use this reaction to its advantage for the creation of an ultra-thin continuous Al-containing seed layer. The latter allows a bottom to top fill during the subsequent Al-containing metal deposition. As a consequence, the filling process proceeds much faster and is production worthy.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于以快速且高可靠的方式填充绝缘层中的开口的方法，并且可以同时填充诸如沟槽和通孔的开口。 该方法是基于反应增强润湿和同时种子层形成的原理。 这个想法是与试图避免TiAl3形成相反，将该反应用于产生超薄连续含Al种子层的优点。 后者允许在随后的含Al金属沉积期间从底部到顶部填充。 因此，填充过程进行得更快，生产价值。

公开(公告)号：US6009724A

公开(公告)日：2000-01-04

申请号：US913570

申请日：1997-09-17

申请人： Jozef A. Helsen ,  Joris Proost ,  Etienne Brauns

发明人： Jozef A. Helsen ,  Joris Proost ,  Etienne Brauns

IPC分类号： C03B5/02 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/10 ,  C03B32/00 ,  C03C12/00 ,  C03B9/00 ,  C03B23/00 ,  C03B37/00

CPC分类号： C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/1005 ,  C03B19/1025 ,  C03B32/00 ,  C03B5/025 ,  C03C12/00

摘要： The invention concerns a process for preparing glass, more specifically glass powder or glass films, together with a process for conditioning the raw materials intended for preparing glass characterized in that raw materials are converted to freely flowing powder suitable for feeding to a plasma torch in which the powder is converted to glass.

摘要翻译： PCT No.PCT / BE96 / 00029 Sec。 371日期1997年9月17日 102（e）1997年9月17日PCT 1996年3月15日PCT公布。 出版物WO96 / 29292 日期1996年9月26日本发明涉及一种制备玻璃，更具体地是玻璃粉末或玻璃膜的方法，以及用于调制用于制备玻璃的原料的方法，其特征在于，将原料转化为适于进料的自由流动的粉末 等离子体焰炬，其中粉末被转化成玻璃。