公开(公告)号：US20110012200A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：US12865838

申请日：2008-03-13

申请人： Frederic Allibert ,  Gweltaz Gaudin ,  Fabrice Lallement ,  Didier Landru ,  Karine Landry ,  Mohamad Shaheen ,  Carlos Mazure

发明人： Frederic Allibert ,  Gweltaz Gaudin ,  Fabrice Lallement ,  Didier Landru ,  Karine Landry ,  Mohamad Shaheen ,  Carlos Mazure

IPC分类号： H01L27/12 ,  H01L21/30 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L29/78603 ,  H01L29/32 ,  H01L29/7841 ,  H01L31/0248

摘要： Embodiments of the invention relate to substrates comprising a base wafer, an insulating layer and a top semiconductor layer, wherein the insulating layer comprises at least a zone wherein a density of charges is in absolute value higher than 1010 charges/cm2. The invention also relates to processes for making such substrates.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及包括基底晶片，绝缘层和顶部半导体层的基板，其中绝缘层至少包括电荷密度高于1010电荷/ cm 2的绝对值的区域。 本发明还涉及制造这种基材的方法。

公开(公告)号：US20110165758A1

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：US12997835

申请日：2009-07-03

申请人： Konstantin Bourdelle ,  Didier Landru ,  Karine Landry

发明人： Konstantin Bourdelle ,  Didier Landru ,  Karine Landry

IPC分类号： H01L21/762

CPC分类号： H01L21/76254

摘要： The invention relates to a method for making a structure for use ion applications in the fields of electronics, optics or optoelectronics. The structure includes a thin layer of semiconducting material on a supporting substrate. The method includes bonding the thin layer onto the supporting substrate by molecular adhesion at a bonding interface to obtain a structure; implanting ions at the bonding interface to transfer atoms from the thin layer to transfer atoms between the thin layer and the supporting substrate or vice versa; and heat-treating the structure in order to stabilize the bonding interface.

摘要翻译： 本发明涉及一种在电子学，光学或光电领域制造用于离子应用的结构的方法。 该结构在支撑衬底上包括薄层的半导体材料。 该方法包括通过在接合界面处的分子粘附将薄层结合到支撑基底上以获得结构; 在结合界面处注入离子以从薄层转移原子以在薄层和支撑衬底之间转移原子，反之亦然; 并对结构进行热处理，以稳定接合界面。

公开(公告)号：US20060016398A1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：US11137230

申请日：2005-05-25

申请人： Laurent Dubost ,  Sylvain Hernandez ,  Hans Jaeger ,  Karine Landry ,  Bertrand Vinel ,  Eugene Zapodeanu ,  Jacques Schmitt ,  Redouane EL Bouchikhy

发明人： Laurent Dubost ,  Sylvain Hernandez ,  Hans Jaeger ,  Karine Landry ,  Bertrand Vinel ,  Eugene Zapodeanu ,  Jacques Schmitt ,  Redouane EL Bouchikhy

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01L21/68742 ,  C23C16/4586

摘要： A pin assembly for lifting and supporting substrates according to the invention comprises a roller glide for a lift pin with rollers reducing the friction of the vertical pin movement, a ball bearing sole plate with elastic suspension for re-centering the sole plate after one coating cycle and a ball-bearing pin head that lowers the friction between the pin and the substrate and minimizes lateral forces that the substrate can apply on the pin.

摘要翻译： 根据本发明的用于提升和支撑衬底的销组件包括用于具有减小垂直销运动的摩擦的辊的升降销的滚轮滑动，具有弹性悬架的滚珠轴承底板，用于在一个涂覆循环之后重新定心底板 以及球轴承销头，其降低销和衬底之间的摩擦力，并使衬底可以施加在销上的侧向力最小化。