公开(公告)号：US07390164B2

公开(公告)日：2008-06-24

申请号：US10571642

申请日：2004-08-27

申请人： Yasushi Maejima ,  Yutaka Inayoshi ,  Shinji Kawanishi ,  Kou Sakurai ,  Hiroyuki Suda ,  Takeshi Akimoto

发明人： Yasushi Maejima ,  Yutaka Inayoshi ,  Shinji Kawanishi ,  Kou Sakurai ,  Hiroyuki Suda ,  Takeshi Akimoto

IPC分类号： F04D19/04 ,  F01D1/36

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D19/04 ,  F04D29/266

摘要： Provided are a fixing structure for fixing a rotor to a rotor shaft, in which the contact state of the contact surfaces of the rotor shaft and the rotor is stabilized to thereby maintain the rotation balance of the rotor shaft and the rotor, making it possible to prevent oscillation, and a turbo molecular pump having such a fixing structure. On the outer peripheral portion of the upper surface of a fastening portion (253), there is concentrically formed a rotor shaft (213) side contact surface (257) to be brought into contact with a rotor (103). Further, in the inner periphery of the contact surface (257), there is formed a spot facing portion (259) whose upper surface is recessed from the contact surface (257). Thus, when the rotor shaft (213) is fastened to the rotor (103), there is formed, at the portion where the spot facing portion (259) is formed, a gap (265) which has a depth corresponding to the depth of the spot facing portion (259) and which is between the contact surface (187) of the rotor (103) and the spot facing portion (259).

摘要翻译： 提供了一种用于将转子固定到转子轴的固定结构，其中转子轴和转子的接触表面的接触状态稳定，从而保持转子轴和转子的旋转平衡，使得可以 防止振动，以及具有这种固定结构的涡轮分子泵。 在紧固部（253）的上表面的外周部上同心地形成与转子（103）接触的转子轴（213）侧接触面（257）。 此外，在接触面（257）的内周形成有上表面从接触面（257）凹陷的光斑对置部（259）。 因此，当转子轴（213）紧固到转子（103）时，在形成有点对面部分（259）的部分形成有与深度相对应的深度的间隙（265） 位于转子（103）的接触表面（187）和光斑对向部分（259）之间的光斑对置部分（259）。

公开(公告)号：US20070031270A1

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：US10571642

申请日：2004-08-27

申请人： Yasushi Maejima ,  Yutaka Inayoshi ,  Shinji Kawanishi ,  Kou Sakurai ,  Hiroyuki Suda ,  Takesi Akimoto

发明人： Yasushi Maejima ,  Yutaka Inayoshi ,  Shinji Kawanishi ,  Kou Sakurai ,  Hiroyuki Suda ,  Takesi Akimoto

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04B17/00

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D19/04 ,  F04D29/266

摘要： Provided are a fixing structure for fixing a rotor to a rotor shaft, in which the contact state of the contact surfaces of the rotor shaft and the rotor is stabilized to thereby maintain the rotation balance of the rotor shaft and the rotor, making it possible to prevent oscillation, and a turbo molecular pump having such a fixing structure. On the outer peripheral portion of the upper surface of a fastening portion (253), there is concentrically formed a rotor shaft (213) side contact surface (257) to be brought into contact with a rotor (103). Further, in the inner periphery of the contact surface (257), there is formed a spot facing portion (259) whose upper surface is recessed from the contact surface (257). Thus, when the rotor shaft (213) is fastened to the rotor (103), there is formed, at the portion where the spot facing portion (259) is formed, a gap (265) which has a depth corresponding to the depth of the spot facing portion (259) and which is between the contact surface (187) of the rotor (103) and the spot facing portion (259).

摘要翻译： 提供了一种用于将转子固定到转子轴的固定结构，其中转子轴和转子的接触表面的接触状态稳定，从而保持转子轴和转子的旋转平衡，使得可以 防止振动，以及具有这种固定结构的涡轮分子泵。 在紧固部（253）的上表面的外周部上同心地形成与转子（103）接触的转子轴（213）侧接触面（257）。 此外，在接触面（257）的内周形成有上表面从接触面（257）凹陷的光斑对置部（259）。 因此，当转子轴（213）紧固到转子（103）时，在形成有点对面部分（259）的部分形成有与深度相对应的深度的间隙（265） 位于转子（103）的接触表面（187）和光斑对向部分（259）之间的光斑对置部分（259）。