公开(公告)号：US06339007B1

公开(公告)日：2002-01-15

申请号：US09562556

申请日：2000-05-02

申请人： Yun-Yu Wang ,  Rajarao Jammy ,  Lee J. Kimball ,  David E. Kotecki ,  Jenny Lian ,  Chenting Lin ,  John A. Miller ,  Nicholas Nagel ,  Hua Shen ,  Horatio S. Wildman

发明人： Yun-Yu Wang ,  Rajarao Jammy ,  Lee J. Kimball ,  David E. Kotecki ,  Jenny Lian ,  Chenting Lin ,  John A. Miller ,  Nicholas Nagel ,  Hua Shen ,  Horatio S. Wildman

IPC分类号： H01L2120

CPC分类号： H01L28/75 ,  H01L28/55 ,  H01L28/60

摘要： A capacitor structure that comprises a top platinum electrode and a bottom electrode having insulator on the sidewalls of the electrodes, and wherein the bottom electrode is from depositing a first electrode portion being recessed with respect to the insulator on the sidewalls thereof and depositing a second insulator portion is provided.

摘要翻译： 一种电容器结构，其包括顶部铂电极和在电极的侧壁上具有绝缘体的底部电极，并且其中底部电极从沉积相对于绝缘体在其侧壁上凹进的第一电极部分并且沉积第二绝缘体 提供部分。