公开(公告)号：US08569857B2

公开(公告)日：2013-10-29

申请号：US12963946

申请日：2010-12-09

申请人： Piotr Kropelnicki ,  Marco Russ ,  Holger Vogt

发明人： Piotr Kropelnicki ,  Marco Russ ,  Holger Vogt

IPC分类号： H01L31/06

CPC分类号： G01J5/20 ,  H01L21/2007

摘要： A bolometer has a semiconductor membrane having a single-crystalline portion, and spacers so as to keep the semiconductor membrane at a predetermined distance from an underlying substrate. The complementarily doped regions of the single-crystalline portion form a diode and the predetermined distance corresponds to a fourth of an infrared wavelength.

摘要翻译： 测辐射热计具有具有单晶部分的半导体膜，以及隔板，以使半导体膜保持在与下面的基板相距预定距离。 单晶部分的互补掺杂区域形成二极管，并且预定距离对应于红外波长的四分之一。

公开(公告)号：US20090321644A1

公开(公告)日：2009-12-31

申请号：US12440274

申请日：2006-09-08

申请人： Holger Vogt ,  Marco Russ

发明人： Holger Vogt ,  Marco Russ

IPC分类号： H01L27/14 ,  H01L21/28

CPC分类号： H01L27/14669 ,  G01J5/06 ,  G01J5/20

摘要： A bolometer includes a membrane, a first spacer and a second spacer, the membrane including resistive and contact layers. At a side facing a foundation, the contact layer has a first contact region at which the first spacer electrically contacts the contact layer, and a second contact region at which the second spacer electrically contacts the contact layer. In this manner, the membrane is kept at a predetermined distance to the foundation. The contact layer is laterally interrupted by a gap, so that the contact layer is subdivided at least into two parts, the first part including the first contact region, and the second part including the second contact region, and no direct connection existing within the contact layer from the first contact region to the second contact region, and the resistive layer being in contact with the first and second parts of the contact layer.

摘要翻译： 测辐射热计包括膜，第一间隔物和第二间隔物，所述膜包括电阻层和接触层。 在面向基础的一侧，接触层具有第一接触区域，第一间隔件与接触层电接触，第二接触区域在第二接触区域处，第二间隔物电接触接触层。 以这种方式，将膜保持在与基础相距预定距离。 接触层由间隙横向中断，使得接触层至少分为两部分，第一部分包括第一接触区域，第二部分包括第二接触区域，并且在接触部内不存在直接连接 层，从第一接触区域到第二接触区域，并且电阻层与接触层的第一和第二部分接触。

公开(公告)号：US20110140224A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12963946

申请日：2010-12-09

申请人： Piotr Kropelnicki ,  Marco Russ ,  Holger Vogt

发明人： Piotr Kropelnicki ,  Marco Russ ,  Holger Vogt

IPC分类号： H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01L31/09

CPC分类号： G01J5/20 ,  H01L21/2007

摘要： A bolometer has a semiconductor membrane having a single-crystalline portion, and spacers so as to keep the semiconductor membrane at a predetermined distance from an underlying substrate. The complementarily doped regions of the single-crystalline portion form a diode and the predetermined distance corresponds to a fourth of an infrared wavelength.

摘要翻译： 测辐射热计具有具有单晶部分的半导体膜，以及隔板，以使半导体膜保持在与下面的基板相距预定距离。 单晶部分的互补掺杂区域形成二极管，并且预定距离对应于红外波长的四分之一。

公开(公告)号：US08080797B2

公开(公告)日：2011-12-20

申请号：US12440274

申请日：2006-09-08

申请人： Holger Vogt ,  Marco Russ

发明人： Holger Vogt ,  Marco Russ

IPC分类号： H01L27/14 ,  H01L21/28

CPC分类号： H01L27/14669 ,  G01J5/06 ,  G01J5/20

摘要： A bolometer includes a membrane, a first spacer and a second spacer, the membrane including resistive and contact layers. At a side facing a foundation, the contact layer has a first contact region at which the first spacer electrically contacts the contact layer, and a second contact region at which the second spacer electrically contacts the contact layer. In this manner, the membrane is kept at a predetermined distance to the foundation. The contact layer is laterally interrupted by a gap, so that the contact layer is subdivided at least into two parts, the first part including the first contact region, and the second part including the second contact region, and no direct connection existing within the contact layer from the first contact region to the second contact region, and the resistive layer being in contact with the first and second parts of the contact layer.

摘要翻译： 测辐射热计包括膜，第一间隔物和第二间隔物，所述膜包括电阻层和接触层。 在面向基础的一侧，接触层具有第一接触区域，第一间隔件与接触层电接触，第二接触区域在第二接触区域处，第二间隔物电接触接触层。 以这种方式，将膜保持在与基础相距预定距离。 接触层由间隙横向中断，使得接触层至少分为两部分，第一部分包括第一接触区域，第二部分包括第二接触区域，并且在接触部内不存在直接连接 层，从第一接触区域到第二接触区域，并且电阻层与接触层的第一和第二部分接触。