公开(公告)号：US20070080291A1

公开(公告)日：2007-04-12

申请号：US11237475

申请日：2005-09-28

申请人： Bart Buijsse ,  Mark Meuwese ,  Bernardus Marie Bormans ,  Hendrik Slingerland

发明人： Bart Buijsse ,  Mark Meuwese ,  Bernardus Marie Bormans ,  Hendrik Slingerland

IPC分类号： G21K7/00 ,  G01N21/00

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20214

摘要： A cluster tool includes multiple tools for microscopic processing of a sample positioned around a rotatable base. A sample holder on the base rotates the sample between the working areas of the tools. A slidable vacuum seal maintains a vacuum in a sample chamber for tools that require a vacuum.

公开(公告)号：US20060197030A1

公开(公告)日：2006-09-07

申请号：US11418730

申请日：2006-05-03

申请人： Bart Buijsse ,  Theodorus Bisschops ,  Mark Meuwese

发明人： Bart Buijsse ,  Theodorus Bisschops ,  Mark Meuwese

IPC分类号： H01J1/50

CPC分类号： H01J37/143

摘要： The invention describes a particle-optical apparatus arranged to focus a beam (1) of electrically charged particles with the aid of two particle-optical lens systems (10, 20). The lens action is achieved by magnetic fields, which fields are generated by permanent-magnetic materials (13, 23). In contrast to magnetic lenses equipped with a coil, it is not easy in the case of lenses equipped with permanent-magnetic material to alter the focusing magnetic field with the aim of altering the optical power. In an apparatus according to the invention, the optical power of the lens systems is altered by altering the energy with which the beam (1) traverses the lens systems (10, 20). This can easily happen by altering the voltage of electrical power supplies (14, 24).

摘要翻译： 本发明描述了一种粒子光学装置，其被布置成借助于两个粒子光学透镜系统（10,20）来聚焦带电粒子的束（1）。 透镜作用是通过磁场实现的，这些磁场由永磁材料（13,23）产生。 与配备有线圈的磁性透镜相比，在配备永磁材料的透镜的情况下，为了改变光焦度来改变聚焦磁场是不容易的。 在根据本发明的装置中，通过改变光束（1）穿过透镜系统（10,20）的能量来改变透镜系统的光焦度。 这可以通过改变电源的电压来容易地发生（14,24）。

公开(公告)号：US20050236568A1

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：US11111078

申请日：2005-04-21

申请人： Bart Buijsse ,  Theodorus Bisschops ,  Mark Meuwese

发明人： Bart Buijsse ,  Theodorus Bisschops ,  Mark Meuwese

IPC分类号： H01J37/143 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/143

摘要： The invention describes a particle-optical apparatus arranged to focus a beam (1) of electrically charged particles with the aid of two particle-optical lens systems (10, 20). The lens action is achieved by magnetic fields, which fields are generated by permanent-magnetic materials (13, 23). In contrast to magnetic lenses equipped with a coil, it is not easy in the case of lenses equipped with permanent-magnetic material to alter the focusing magnetic field with the aim of altering the optical power. In an apparatus according to the invention, the optical power of the lens systems is altered by altering the energy with which the beam (1) traverses the lens systems (10, 20). This can easily happen by altering the voltage of electrical power supplies (14, 24).

摘要翻译： 本发明描述了一种粒子光学装置，其被布置成借助于两个粒子光学透镜系统（10,20）来聚焦带电粒子的束（1）。 透镜作用是通过磁场实现的，这些磁场由永磁材料（13,23）产生。 与配备有线圈的磁性透镜相比，在配备永磁材料的透镜的情况下，为了改变光焦度来改变聚焦磁场是不容易的。 在根据本发明的装置中，通过改变光束（1）穿过透镜系统（10,20）的能量来改变透镜系统的光焦度。 这可以通过改变电源的电压来容易地发生（14,24）。

公开(公告)号：US20080055359A1

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：US11575147

申请日：2005-09-14

申请人： Mark Meuwese ,  Maria Van Wely-Dieleman ,  Paulus Duineveld ,  Johan Dijksman ,  Marinus Dona ,  Hendrik Stapert

发明人： Mark Meuwese ,  Maria Van Wely-Dieleman ,  Paulus Duineveld ,  Johan Dijksman ,  Marinus Dona ,  Hendrik Stapert

IPC分类号： B41J2/145 ,  B41J2/175

CPC分类号： B01L3/0268 ,  B01J2219/0036 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/0072 ,  B01L2200/04 ,  B01L2300/0672 ,  B01L2400/0622 ,  B41J2/17523 ,  G01N2035/1041

摘要： A print head has a face (6) presenting an array of nozzle orifices (7) and is configured for mounting a number of associated ejection arrangements, each ejecting droplets of printing fluid through the associated nozzle (8) when activated. The print head includes at least parts of a plurality of reservoir arrangements (27,28) for holding printing fluids to be ejected and a channel arrangement (9,14,15) for supplying a printing fluid from a reservoir arrangement (27,28) to an individual nozzle (8). The print head includes at least one adapter structure (11,13) for releasable connection to a cartridge (4; 16) including a container (5;22) for holding a printing fluid. The adapter structure (11,13) is configured to co-operate with the cartridge (4; 16) to provide a passage between the container (5;22) and channel arrangement upon connection.

摘要翻译： 打印头具有呈现喷嘴孔（7）阵列的面（6），并被构造成用于安装多个相关联的喷射装置，每个喷射装置在被激活时通过相关喷嘴（8）喷射打印液体的液滴。 打印头包括用于保持要喷射的打印流体的多个储存器装置（27,28）的至少一部分和用于从储存器装置（27,28）提供打印流体的通道装置（9,14,15） 到单独的喷嘴（8）。 打印头包括用于可释放地连接到盒（4; 16）的至少一个适配器结构（11,13），该盒包括用于保持打印流体的容器（5; 22）。 适配器结构（11,13）被配置为与盒（4; 16）配合，以在连接时在容器（5; 22）和通道布置之间提供通道。

公开(公告)号：US20060284108A1

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：US11169274

申请日：2005-06-28

申请人： Bart Buijsse ,  Mark Meuwese ,  Maria Van Wely-Dieleman ,  Sjoerd Mentink ,  Theodorus Bisschops

发明人： Bart Buijsse ,  Mark Meuwese ,  Maria Van Wely-Dieleman ,  Sjoerd Mentink ,  Theodorus Bisschops

IPC分类号： G01K5/08

CPC分类号： H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2605

摘要： The invention relates to an apparatus for evacuating samples. A sample 4 is hereby placed in a cavity 3 of a sheet 1 with a smooth surface 2. A sole plate 5 Is placed upon this smooth surface 2, whereby the smooth surface 2 and the sole plate 5 placed thereupon together form a vacuum seal. The sole plate 5, upon which a vacuum column 6 is mounted, can be slid across the smooth surface 2. By sliding the sole plate 5 over the cavity 4, the cavity 4 is evacuated in several steps. In an embodiment of the invention, the vacuum column 6 takes the form of an ESEM (Environmental Scanning Electron Microscope). In this way, it is possible to inspect the evacuated sample 4 with the ESEM.

摘要翻译： 本发明涉及抽样样品的装置。 样品4因此被放置在具有光滑表面2的片材1的空腔3中。 将底板5放置在该光滑表面2上，由此将光滑表面2和放置在其上的底板5一起形成真空密封。 其上安装有真空塔6的底板5可以滑过光滑表面2。 通过将底板5滑动在空腔4上方，空腔4以几个步骤排空。 在本发明的一个实施方案中，真空塔6采用ESEM（环境扫描电子显微镜）的形式。 以这种方式，可以用ESEM检查抽空的样品4。