公开(公告)号：US08212992B2

公开(公告)日：2012-07-03

申请号：US13045697

申请日：2011-03-11

申请人： Peter Kloesch ,  Michael Ringel ,  Markus Weiss

发明人： Peter Kloesch ,  Michael Ringel ,  Markus Weiss

IPC分类号： G02B7/02 ,  G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/7085

摘要： A changeable assembly for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography contains at least one damping element. Projection exposure apparatus for semiconductor lithography and measuring assemblies for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography can include at least one sensor for detecting parameters and vibrations of the projection exposure apparatus, wherein the measuring assembly is embodied in such a way that it can be inserted into an exchange opening, provided for an optical element, in the projection exposure apparatus.

摘要翻译： 用于半导体光刻的投影曝光装置的可变组件包含至少一个阻尼元件。 用于半导体光刻的投影曝光装置和用于半导体光刻的投影曝光装置的测量组件可以包括用于检测投影曝光装置的参数和振动的至少一个传感器，其中测量组件以这样一种方式被实现： 在投影曝光装置中设置有用于光学元件的交换开口。

公开(公告)号：US20110205507A1

公开(公告)日：2011-08-25

申请号：US13045697

申请日：2011-03-11

申请人： Peter Kloesch ,  Michael Ringel ,  Markus Weiss

发明人： Peter Kloesch ,  Michael Ringel ,  Markus Weiss

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/7085

摘要： A changeable assembly for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography contains at least one damping element. Projection exposure apparatus for semiconductor lithography and measuring assemblies for a projection exposure apparatus for semiconductor lithography can include at least one sensor for detecting parameters and vibrations of the projection exposure apparatus, wherein the measuring assembly is embodied in such a way that it can be inserted into an exchange opening, provided for an optical element, in the projection exposure apparatus.

摘要翻译： 用于半导体光刻的投影曝光装置的可变组件包含至少一个阻尼元件。 用于半导体光刻的投影曝光装置和用于半导体光刻的投影曝光装置的测量组件可以包括用于检测投影曝光装置的参数和振动的至少一个传感器，其中测量组件以这样一种方式被实现： 在投影曝光装置中设置有用于光学元件的交换开口。

公开(公告)号：US4790699A

公开(公告)日：1988-12-13

申请号：US40162

申请日：1987-04-20

申请人： Michael Ringel

发明人： Michael Ringel

IPC分类号： B23B31/30 ,  F16L39/00 ,  B23Q5/04

CPC分类号： F16L39/04 ,  B23B31/302 ,  F16L27/0828 ,  Y10T137/86268 ,  Y10T279/1224 ,  Y10T409/309352 ,  Y10T82/2562

摘要： A rotary coaxial air feed tube assembly for a pneumatic chuck with one end of the assembly screw coupled to the chuck and the other end of the assembly being coupled to a rotary air feed joint, keying means being provided for coupling the feed tube assembly to a rotary drive spindle so as to impart a rotary drive to the assembly and to the chuck.

摘要翻译： 一种用于气动卡盘的旋转同轴空气馈送管组件，其联接到卡盘的一体的组件螺钉的一端和组件的另一端联接到旋转空气供给接头，提供了用于将进料管组件连接到 旋转驱动主轴，以便向组件和卡盘施加旋转驱动。