公开(公告)号：US6085548A

公开(公告)日：2000-07-11

申请号：US138489

申请日：1998-08-24

申请人： Naser Mahmud Chowdhury ,  John Irven ,  Dao-Hong Zheng ,  Sukla Chandra ,  Kenneth Coull ,  Reiner Reinhard Wilhelm Taege

发明人： Naser Mahmud Chowdhury ,  John Irven ,  Dao-Hong Zheng ,  Sukla Chandra ,  Kenneth Coull ,  Reiner Reinhard Wilhelm Taege

IPC分类号： F17C6/00 ,  B01D5/00 ,  B01D19/00 ,  C23C16/44 ,  F17C7/04 ,  F17C9/02 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04 ,  H01L21/205 ,  F25J1/00

CPC分类号： F17C7/04 ,  B01D19/0068 ,  B01D5/0069 ,  C23C16/4402 ,  F17C13/025 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2227/0304 ,  F17C2227/0332 ,  F17C2227/0353 ,  F17C2227/0395 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/072 ,  F17C2265/012 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

摘要： A control vent system is disclosed for reducing volatile impurities in a gaseous product of ultra-high purity delivered from a storage vessel containing an inventory of a non-cryogenic liquid product, as well as a method and a system for delivering the product from the storage vessel. The control vent system includes a vent line attached to the storage vessel and a condenser in the vent line. Coolant (e.g., a refrigerant) is transferred between the condenser and a source of coolant, such as a refrigeration unit. The method of reducing volatile impurities includes three steps. The first step is to vent part of the gaseous vapor from the gaseous vapor space to a condenser. The second step is to cool the vented gaseous vapor in the condenser to a temperature below the boiling point of the liquid product and above the boiling points of the volatile impurities. As a result, a first portion of the vented gaseous vapor is condensed and a second portion of the vented gaseous vapor is not condensed. The final step is to vent the second portion of the vented gaseous vapor from the condenser.

摘要翻译： 公开了用于减少从含有非低温液体产品的存货的储存容器输送的超高纯度气态产物中的挥发性杂质的控制排气系统，以及用于从存储器输送产品的方法和系统 船只。 控制排气系统包括连接到存储容器的排气管和排气管线中的冷凝器。 冷却剂（例如制冷剂）在冷凝器和诸如制冷单元的冷却剂源之间传递。 减少挥发性杂质的方法包括三个步骤。 第一步是将部分气态蒸气从气态蒸气空间排放到冷凝器。 第二步是将冷凝器中排出的气态蒸气冷却至液体产物沸点以下且高于挥发性杂质沸点的温度。 结果，排出的气态蒸汽的第一部分被冷凝，并且排出的气态蒸气的第二部分不会冷凝。 最后一步是从冷凝器排出第二部分排出的气态蒸汽。

公开(公告)号：US06742282B2

公开(公告)日：2004-06-01

申请号：US10300477

申请日：2002-11-20

申请人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

发明人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

IPC分类号： F26B504

CPC分类号： F17C7/02 ,  F17C13/02 ,  F17C13/025 ,  F17C13/026 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/03 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/035 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/036 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0473 ,  F17C2250/0491 ,  F17C2250/0495 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

摘要： A method and an apparatus are disclosed for detecting an occurrence of a liquid dry condition in a container containing a liquefied compressed gas while the gaseous phase of the liquefied compressed gas is being removed from the container over time. The apparatus includes a first sensor, a second sensor, and a computer, preferably a programmed logic controller (PLC). The first sensor senses temperature (T) inside the container and provides a signal indicative thereof. The second sensor senses pressure (P) inside the container and provides a signal indicative thereof. The computer receives signals from the first and second sensors, and determines the rates of change in the pressure (dP/dt) and the temperature (dT/dt) inside the container over time. The computer identifies an occurrence of a sudden increase in the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container and a substantial simultaneous occurrence of a sudden decrease in the rate of change in the pressure (dP/dt) inside the container, said substantially simultaneous occurrences indicating an occurrence of a liquid dry condition in the container. The preferred embodiment includes a third sensor for sensing ambient temperature (Ta) and for providing a signal indicative thereof. The computer receives a signal from the third sensor and accounts for a change in the ambient temperature in determining the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container over time.

摘要翻译： 公开了一种方法和装置，用于在含有液化压缩气体的容器中检测液体干燥状况的发生，同时液化压缩气体的气相随着时间从容器中移出。 该装置包括第一传感器，第二传感器和计算机，优选地是编程逻辑控制器（PLC）。 第一传感器感测容器内的温度（T），并提供指示其的信号。 第二传感器感测容器内的压力（P）并提供指示其的信号。 计算机接收来自第一和第二传感器的信号，并确定容器内的压力（dP / dt）和温度（dT / dt）随时间变化的速率。 计算机识别容器内的温度变化率（dT / dt）的突然增加的发生，以及容器内部的压力变化率（dP / dt）的显着同时出现 所述基本上同时发生的事件表明在容器中出现液体干燥状况。 优选实施例包括用于感测环境温度（Ta）并用于提供指示其的信号的第三传感器。 计算机接收来自第三传感器的信号，并且在确定容器内的温度变化率（dT / dt）随时间变化时，考虑到环境温度的变化。

公开(公告)号：US06643951B1

公开(公告)日：2003-11-11

申请号：US09694199

申请日：2000-10-23

申请人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

发明人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

IPC分类号： F26B504

CPC分类号： F17C7/02 ,  F17C13/02 ,  F17C13/025 ,  F17C13/026 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/046 ,  F17C2250/0473 ,  F17C2250/0495 ,  F17C2250/0694 ,  F17C2260/024 ,  F17C2270/0168 ,  F17C2270/0518

摘要： A method and an apparatus are disclosed for detecting an occurrence of a liquid dry condition in a container containing a liquefied compressed gas while the gaseous phase of the liquefied compressed gas is being removed from the container over time. The apparatus includes a first sensor, a second sensor, and a computer, preferably a programmed logic controller (PLC). The first sensor senses temperature (T) inside the container and provides a signal indicative thereof. The second sensor senses pressure (P) inside the container and provides a signal indicative thereof. The computer receives signals from the first and second sensors, and determines the rates of change in the pressure (dP/dt) and the temperature (dT/dt) inside the container over time. The computer identifies an occurrence of a sudden increase in the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container and a substantial simultaneous occurrence of a sudden decrease in the rate of change in the pressure (dP/dt) inside the container, said substantially simultaneous occurrences indicating an occurrence of a liquid dry condition in the container. The preferred embodiment includes a third sensor for sensing ambient temperature (Ta) and for providing a signal indicative thereof. The computer receives a signal from the third sensor and accounts for a change in the ambient temperature in determining the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container over time.

摘要翻译： 公开了一种用于检测在含有液化压缩气体的容器中液体干燥状况的发生的方法和装置，同时液化压缩气体的气相随着时间从容器中移出。 该装置包括第一传感器，第二传感器和计算机，优选地是编程逻辑控制器（PLC）。 第一传感器感测容器内的温度（T），并提供指示其的信号。 第二传感器感测容器内的压力（P）并提供指示其的信号。 计算机接收来自第一和第二传感器的信号，并确定容器内的压力（dP / dt）和温度（dT / dt）随时间变化的速率。 计算机识别容器内的温度变化率（dT / dt）的突然增加的发生，以及容器内部的压力变化率（dP / dt）的显着同时出现 所述基本上同时发生的事件表明在容器中出现液体干燥状况。 优选实施例包括用于感测环境温度（Ta）并用于提供指示其的信号的第三传感器。 计算机接收来自第三传感器的信号，并且在确定容器内的温度变化率（dT / dt）随时间变化时，考虑到环境温度的变化。

公开(公告)号：US6134805A

公开(公告)日：2000-10-24

申请号：US138498

申请日：1998-08-24

申请人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

发明人： Naser Mahmud Chowdhury ,  Sukla Chandra ,  Warren Matthew Janigian

IPC分类号： F17C7/02 ,  F17C13/02 ,  F26B5/04

CPC分类号： F17C7/02 ,  F17C13/02 ,  F17C13/025 ,  F17C13/026 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/03 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/035 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/036 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0473 ,  F17C2250/0491 ,  F17C2250/0495 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

摘要： A method [and an apparatus are] is disclosed for detecting an occurrence of a liquid dry condition in a container containing a liquefied compressed gas while the gaseous phase of the liquefied compressed gas is being removed from the container over time. The [apparatus includes] method uses a first sensor, a second sensor, and a computer, preferably a programmed logic controller (PLC). The first sensor senses temperature (T) inside the container and provides a signal indicative thereof. The second sensor senses pressure (P) inside the container and provides a signal indicative thereof. The computer receives signals from the first and second sensors, and determines the rates of change in the pressure (dP/dt) and the temperature (dT/dt) inside the container over time. The computer identifies an occurrence of a sudden increase in the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container and a substantial simultaneous occurrence of a sudden decrease in the rate of change in the pressure (dP/dt) inside the container, [said] substantially simultaneous occurrences indicating an occurrence of a liquid dry condition in the container. [The preferred embodiment includes a third sensor for sensing ambient temperature (T.sub.a) and for providing a signal indicative thereof. The computer receives a signal from the third sensor and accounts for a change in the ambient temperature in determining the rate of change in the temperature (dT/dt) inside the container over time.]

摘要翻译： 公开了一种用于检测在含有液化压缩气体的容器中液体干燥状况的发生同时液体压缩气体的气相随时间从容器中移出的方法[和装置]。 [装置包括]方法使用第一传感器，第二传感器和计算机，优选地是编程逻辑控制器（PLC）。 第一传感器感测容器内的温度（T），并提供指示其的信号。 第二传感器感测容器内的压力（P）并提供指示其的信号。 计算机接收来自第一和第二传感器的信号，并确定容器内的压力（dP / dt）和温度（dT / dt）随时间变化的速率。 计算机识别容器内的温度变化率（dT / dt）的突然增加的发生，以及容器内部的压力变化率（dP / dt）的显着同时出现 ，表示在容器中出现液体干燥状态的基本上同时发生的事件。 [优选实施例包括用于感测环境温度（Ta）并用于提供指示其的信号的第三传感器。 计算机接收来自第三传感器的信号，并且在确定容器内的温度变化率（dT / dt）随时间变化时，考虑到环境温度的变化。

公开(公告)号：US5685350A

公开(公告)日：1997-11-11

申请号：US597770

申请日：1996-02-07

申请人： Naser Mahmud Chowdhury

发明人： Naser Mahmud Chowdhury

IPC分类号： B60P3/00 ,  B65D88/12 ,  B65D90/22 ,  F17C1/16 ,  F17C13/04 ,  F17C13/08 ,  F17C13/12 ,  B65B1/04

CPC分类号： F17C13/083 ,  F17C13/04 ,  F17C13/123 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/054 ,  F17C2201/056 ,  F17C2205/0107 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2221/011 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/014 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2270/0171 ,  F17C2270/05 ,  Y02E60/321 ,  Y10S220/24 ,  Y10T137/4723 ,  Y10T137/4874

摘要： Method and apparatus for transporting, storing and delivering dangerous chemicals in a high pressure stacked tube array configuration. Tubes are divided into sub-groups with outside tubes containing inert gases and inside tubes containing chemicals. Inside and outside tubes in each sub-group are manifolded to permit off loading of dangerous chemicals into outside tubes in the event of a leak in an inside tube or tubes in the sub-group. The apparatus includes a manifold system for segregation of source chemicals to provide two independent outlets.

摘要翻译： 用于在高压堆叠管阵列配置中运输，储存和输送危险化学品的方法和装置。 管子被分成具有包含惰性气体的外部管和含有化学物质的管的子组。 每个子组中的内部和外部管都是歧管的，以允许在子组内部的管或管中发生泄漏的情况下将危险化学品卸载到外部管中。 该装置包括用于分离源化学品以提供两个独立出口的歧管系统。

公开(公告)号：US5644921A

公开(公告)日：1997-07-08

申请号：US651311

申请日：1996-05-22

申请人： Naser Mahmud Chowdhury

发明人： Naser Mahmud Chowdhury

IPC分类号： F17C9/02

CPC分类号： F17C9/02 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/035 ,  F17C2201/054 ,  F17C2201/056 ,  F17C2205/018 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2227/0304 ,  F17C2227/0374 ,  F17C2250/0626 ,  F17C2260/021 ,  F17C2270/0518

摘要： A method and apparatus for storing ultra high purity non-cryogenic liquefied compressed gases, such as ammonia (NH.sub.3), and delivering a vaporized gaseous product from those liquefied gases for semiconductor processing applications. The delivery method includes withdrawing and heating gaseous product from a storage vessel containing the liquefied compressed gas, and then piping the heated gas through the liquid contained in the storage vessel in a heat exchange fashion. The heat exchange with the liquid inside the vessel induces boiling to maintain a vaporized gaseous product under a minimum positive pressure in said vessel. After liberating its heat, the gaseous product is delivered to a semiconductor manufacturing point of use.

摘要翻译： 用于储存例如氨（NH 3）的超高纯度非低温液化压缩气体的方法和装置，并从用于半导体处理应用的那些液化气体输送蒸发的气体产物。 输送方法包括从含有液化压缩气体的储存容器中取出和加热气态产物，然后以热交换的方式将加热的气体通过储存容器中所含的液体进行配管。 与容器内部的液体的热交换引起沸腾以在所述容器中保持在最小正压下的蒸发的气态产物。 释放出热量后，气态产物被输送到半导体制造使用点。