公开(公告)号：US20050179882A1

公开(公告)日：2005-08-18

申请号：US10779811

申请日：2004-02-18

申请人： Cheng-Qun Gui ,  Arno Bleeker ,  Pieter Herman De Jager

发明人： Cheng-Qun Gui ,  Arno Bleeker ,  Pieter Herman De Jager

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70275 ,  G03F7/70283 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70308

摘要： Provided is a method and system for facilitating use of a plurality of individually controllable elements to modulate the intensity of radiation received at each focusing element of an array of focusing elements to control the intensity of the radiation in the areas on the substrate onto which the focusing elements direct the radiation.

摘要翻译： 提供了一种用于促进使用多个可单独控制的元件来调制在聚焦元件阵列的每个聚焦元件处接收的辐射强度的方法和系统，以控制在其上聚焦的基底上的区域中的辐射强度 元素引导辐射。