公开(公告)号：US08409996B2

公开(公告)日：2013-04-02

申请号：US12968020

申请日：2010-12-14

申请人： Frederik Willem Maurits Vanhelmont ,  Rensinus Cornelis Strijbos ,  Andreas Bernardus Maria Jansman ,  Robertus Adrianus Maria Wolters ,  Johannes van Wingerden ,  Fredericus Christiaan van den Heuvel

发明人： Frederik Willem Maurits Vanhelmont ,  Rensinus Cornelis Strijbos ,  Andreas Bernardus Maria Jansman ,  Robertus Adrianus Maria Wolters ,  Johannes van Wingerden ,  Fredericus Christiaan van den Heuvel

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H03H9/564 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02228

摘要： A method of manufacturing a Bulk Acoustic Wave device by providing an active layer formed of an electro-mechanical transducer material, providing a first electrode on the active layer, defining a first electrode portion of the device, whereby a remaining portion of the device is defined around the first electrode, providing a stop-layer on the first electrode, depositing a first dielectric layer on the resultant structure, and planarizing the first dielectric layer until the stop-layer on the first electrode is exposed.

摘要翻译： 通过提供由机电换能器材料形成的有源层来制造体声波器件的方法，在有源层上提供第一电极，限定器件的第一电极部分，从而定义器件的剩余部分 围绕第一电极，在第一电极上提供停止层，在所得结构上沉积第一电介质层，并平坦化第一电介质层，直到第一电极上的停止层露出。

公开(公告)号：US20110315654A1

公开(公告)日：2011-12-29

申请号：US12968020

申请日：2010-12-14

申请人： Frederik Willem Maurits VANHELMONT ,  Rensinus Cornelis STRIJBOS ,  Andreas Bernardus Maria JANSMAN ,  Robertus Adrianus Maria WOLTERS ,  Johannes van WINGERDEN ,  Fredericus Christiaan van den HEUVEL

发明人： Frederik Willem Maurits VANHELMONT ,  Rensinus Cornelis STRIJBOS ,  Andreas Bernardus Maria JANSMAN ,  Robertus Adrianus Maria WOLTERS ,  Johannes van WINGERDEN ,  Fredericus Christiaan van den HEUVEL

IPC分类号： H01L41/22

CPC分类号： H03H9/564 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02228

摘要： A method of manufacturing a Bulk Acoustic Wave device by providing an active layer formed of an electro-mechanical transducer material, providing a first electrode on the active layer, defining a first electrode portion of the device, whereby a remaining portion of the device is defined around the first electrode, providing a stop-layer on the first electrode, depositing a first dielectric layer on the resultant structure, and planarizing the first dielectric layer until the stop-layer on the first electrode is exposed.

摘要翻译： 通过提供由机电换能器材料形成的有源层来制造体声波器件的方法，在有源层上提供第一电极，限定器件的第一电极部分，从而定义器件的剩余部分 围绕第一电极，在第一电极上提供停止层，在所得结构上沉积第一电介质层，并平坦化第一电介质层，直到第一电极上的停止层露出。