公开(公告)号：US20120058258A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US13227205

申请日：2011-09-07

申请人： Zhengmao Ye ,  Rick Ramos

发明人： Zhengmao Ye ,  Rick Ramos

IPC分类号： G11B5/84 ,  B08B1/00 ,  B05D3/12 ,  B05D3/10 ,  B05D3/00 ,  B08B3/12 ,  B08B3/08

CPC分类号： G11B5/8404 ,  B08B3/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： Post sputter cleaning of hard disk substrates for use in an imprint lithography processes. The cleaning removes contaminants including organic contaminants that otherwise may cause repeating void (non-fill) defects in the imprinted pattern.

摘要翻译： 对印刷光刻工艺中使用的硬盘基板进行后溅射清洗。 清洁除去污染物，包括有机污染物，否则可能导致印刷图案中的重复空隙（非填充）缺陷。

公开(公告)号：US20120070572A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：US13228298

申请日：2011-09-08

申请人： Zhengmao Ye ,  Rick Ramos ,  Edward Brian Fletcher ,  Christopher Ellis Jones ,  Dwayne L. LaBrake

发明人： Zhengmao Ye ,  Rick Ramos ,  Edward Brian Fletcher ,  Christopher Ellis Jones ,  Dwayne L. LaBrake

IPC分类号： B05D5/10 ,  C23C16/448

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： Described are systems and method of using a vapor delivery system for enabling delivery of an adhesion promoter material during an imprint lithography process.

摘要翻译： 描述了在压印光刻工艺期间使用蒸气递送系统以实现粘合促进剂材料的传递的系统和方法。