公开(公告)号：US07071022B2

公开(公告)日：2006-07-04

申请号：US10622606

申请日：2003-07-18

申请人： J. Greg Couillard ,  Robert R. Hancock Rr ,  Mark A. Lewis

发明人： J. Greg Couillard ,  Robert R. Hancock Rr ,  Mark A. Lewis

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： C03C17/3657 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C17/3429 ,  C03C17/3482 ,  C03C17/42 ,  C03C2218/152 ,  C03C2218/32 ,  C23C16/0272 ,  C30B25/18 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02658 ,  H01L21/02667

摘要： A display device comprises a substrate having a layer of crystalline or polycrystalline semiconductor material disposed over the substrate, wherein the substrate has a strain point that is lower than a forming temperature of the layer. The crystalline or polycrystalline material is fabricated by a method that includes providing a self-assembled monolayer (SAM) over the substrate, depositing a layer of material over the SAM, and substantially crystallizing the layer.

摘要翻译： 显示装置包括具有设置在衬底上的结晶或多晶半导体材料层的衬底，其中衬底具有低于该层的形成温度的应变点。 晶体或多晶材料通过包括在衬底上提供自组装单层（SAM），在SAM上沉积材料层并使层基本上结晶的方法来制造。