公开(公告)号：US4871646A

公开(公告)日：1989-10-03

申请号：US193688

申请日：1988-05-13

申请人： Shizu Hayase ,  Rumiko Horiguchi ,  Yasunobu Onishi ,  Toru Ushirogouchi

发明人： Shizu Hayase ,  Rumiko Horiguchi ,  Yasunobu Onishi ,  Toru Ushirogouchi

IPC分类号： G03C1/72 ,  C08G77/00 ,  C08G77/02 ,  C08G77/48 ,  C08G77/60 ,  C08L83/16 ,  G03C1/00 ,  G03C1/675 ,  G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

CPC分类号： C08G77/60 ,  C08L83/16 ,  G03F7/0754

摘要： Disclosed are a polysilane containing a unit represented by the following formulas I, II, or III, and a photosensitive composition consisting of the polysilane. ##STR1##

摘要翻译： 公开了含有由下式I，II或III表示的单元的聚硅烷和由聚硅烷组成的感光组合物。 III。影像> I II III