公开(公告)号：US07234224B1

公开(公告)日：2007-06-26

申请号：US11592910

申请日：2006-11-03

申请人： Steven Naugler ,  Steven J. Pufka ,  Jeffrey R. Stack ,  Weitung Wang

发明人： Steven Naugler ,  Steven J. Pufka ,  Jeffrey R. Stack ,  Weitung Wang

IPC分类号： B23C3/00 ,  B23P15/00

CPC分类号： B24B37/24 ,  B23C3/34 ,  B23C5/10 ,  B23C2210/201 ,  B23C2226/61 ,  B24D11/008 ,  Y10T29/49995 ,  Y10T409/303808 ,  Y10T409/304424

摘要： A method is provided for forming grooves in a polishing pad useful for planarizing a substrate in a chemical mechanical planarization process. The method maintains average velocity as a function of bit diameter to enable groove formation using a rotating bit, whereby grooves can be formed at a higher rate while maintaining high groove quality and low defectivity.

摘要翻译： 提供了一种用于在用于在化学机械平面化工艺中平坦化基板的抛光垫中形成凹槽的方法。 该方法将平均速度保持为钻头直径的函数，以使得能够使用旋转钻头形成凹槽，由此可以以更高的速率形成凹槽，同时保持高沟槽质量和低缺陷性。

公开(公告)号：US5641848A

公开(公告)日：1997-06-24

申请号：US505925

申请日：1995-07-24

申请人： James M. Giacobbe ,  Steven J. Pufka

发明人： James M. Giacobbe ,  Steven J. Pufka

IPC分类号： B29C55/28 ,  B29L7/00 ,  C08J5/18 ,  C08L23/08 ,  C08L23/10 ,  C08L23/12 ,  C08L23/16 ,  C08F110/06 ,  C08L53/00

CPC分类号： C08L23/12 ,  C08J5/18 ,  C08L23/10 ,  C08L23/16 ,  C08J2323/12 ,  C08L2205/02 ,  C08L2205/035 ,  C08L2207/02 ,  C08L23/0815

摘要： Disclosed is a blown film or sheet material comprising a broad molecular weight distribution propylene polymer material having a molecular weight distribution M.sub.w /M.sub.n of about 4 to about 60, a melt flow rate of about 0.5 to about 50 dg/min, and xylene insolubles at 25.degree. C. of greater than or equal to 94%. A mixture of the broad molecular weight distribution propylene polymer material and a heterophasic olefin polymer composition can also be used.

摘要翻译： 公开了一种吹塑薄膜或片材，其包含分子量分布Mw / Mn为约4-约60，熔体流动速率为约0.5-约50dg / min的宽分子量分布的丙烯聚合物材料和二甲苯不溶物 25℃，大于或等于94％。 还可以使用宽分子量分布的丙烯聚合物材料和多相烯烃聚合物组合物的混合物。