公开(公告)号：US5939632A

公开(公告)日：1999-08-17

申请号：US875384

申请日：1997-10-03

申请人： David Frank Moore ,  Stuart Clyde Burgess ,  Heather Klaubert ,  Hiang-Swee Chiang ,  Narito Shibaike ,  Takashi Kiriyami

发明人： David Frank Moore ,  Stuart Clyde Burgess ,  Heather Klaubert ,  Hiang-Swee Chiang ,  Narito Shibaike ,  Takashi Kiriyami

IPC分类号： G01P15/08 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/0894 ,  G01P2015/0828

摘要： There is disclosed an accelerometer comprising a substrate, a proof mass mounted to the substrate for movement in a first direction perpendicular to the plane of the substrate, the proof mass carrying a first sensing electrode, a second sensing electrode mounted relative to the substrate, wherein the first and second sensing electrodes comprise surfaces extending at an angle relative to the substrate and defining between them a sensing gap the width of which varies with movement of the proof mass in the first direction.

摘要翻译： PCT No.PCT / GB95 / 03018 Sec。 371日期1997年10月3日第 102（e）日期1997年10月3日PCT 1995年12月22日PCT PCT。 公开号WO96 / 21157 PCT 日期：1996年7月11日公开了一种加速度计，其包括基板，安装在基板上的检测质量沿垂直于基板平面的第一方向移动，检测质量携带第一检测电极，第二检测电极安装在相对 其中所述第一感测电极和所述第二感测电极包括相对于所述衬底以一定角度延伸的表面，并且在它们之间限定其宽度随所述第一方向上的所述证明块的移动而变化的感测间隙。