公开(公告)号：US4939065A

公开(公告)日：1990-07-03

申请号：US217498

申请日：1988-07-11

申请人： Jacques Cavezzan ,  Sylvianne Dumas ,  Louis Giral ,  Christian Prud'Homme ,  Francois Schue

发明人： Jacques Cavezzan ,  Sylvianne Dumas ,  Louis Giral ,  Christian Prud'Homme ,  Francois Schue

IPC分类号： C08K3/00 ,  C08K5/23 ,  C08L83/05 ,  C08L83/07 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075

CPC分类号： G03F7/0757 ,  C08K5/23 ,  Y10S430/114 ,  Y10S430/118

摘要： Substrates, e.g., silicon wafers, coated with a UV-curable organopolysiloxane composition including a crosslinking catalyst therefor (e.g., a platinum group metal compound) and an amount of a crosslinking inhibitor (e.g., an azodicarboxylate) which is effective at ambient temperature, but ineffective to prevent crosslinking on exposure of the composition to ultraviolet radiation, are well adapted for the imaging of negative intelligence patterns thereon.

摘要翻译： 衬底，例如硅晶片，其涂覆有包含其交联催化剂的可UV固化的有机聚硅氧烷组合物（例如，铂族金属化合物）和一定量的在环境温度下有效的交联抑制剂（例如，偶氮二羧酸酯），但是 无法防止组合物暴露于紫外线辐射下的交联，很好地适用于其上的阴性情报模式的成像。