公开(公告)号：US20160154302A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：US14904325

申请日：2014-07-10

申请人： ARKEMA FRANCE ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX

发明人： Christophe NAVARRO ,  Chrystilla REBOUL ,  Guillaume FLEURY ,  Gilles PECASTAINGS ,  Georges HADZIIOANNOU

IPC分类号： G03F7/00 ,  C09D153/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y40/00 ,  C09D153/00

摘要： The present invention relates to a process for the perpendicular orientation of nanodomains of block copolymers on a substrate by using a sublayer of random or gradient copolymers whose monomers differ at least in part from those present, respectively, in each of the blocks of the block copolymer.

摘要翻译： 本发明涉及通过使用无规或梯度共聚物的子层将嵌段共聚物的纳米域垂直取向的方法，所述无规或梯度共聚物的单体至少部分地与存在于嵌段共聚物嵌段 。

公开(公告)号：US20160319158A1

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：US15103748

申请日：2014-12-10

申请人： ARKEMA FRANCE ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)

发明人： Guillaume FLEURY ,  Christophe NAVARRO ,  Georges HADZIIOANNOU ,  Celia NICOLET ,  Xavier CHEVALIER ,  Chrystilla REBOUL ,  Veronica CASTILLO ,  Gilles PECASTAINGS

IPC分类号： C09D187/00 ,  B05D3/06 ,  H01L21/027 ,  B01J31/06

CPC分类号： C09D187/005 ,  B01J31/06 ,  B05D3/06 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F293/005 ,  C08F2438/02 ,  C08J9/26 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271

摘要： The invention relates to a process for producing a film of self-assembled block copolymers on a substrate, said process consisting in carrying out a simultaneous deposition of block copolymer and of random copolymer by means of a solution containing a blend of block copolymer and of random copolymer of different chemical nature and which are immiscible, then in carrying out an annealing treatment allowing the promotion of the phase segregation inherent in the self-assembly of block copolymers.

摘要翻译： 本发明涉及在基材上制备自组装嵌段共聚物的膜的方法，所述方法包括通过含有嵌段共聚物和随机的共混物的溶液同时沉积嵌段共聚物和无规共聚物 共聚物，其不同的化学性质并且不混溶，然后进行退火处理，允许促进嵌段共聚物的自组装固有的相分离。