公开(公告)号：US5930586A

公开(公告)日：1999-07-27

申请号：US887696

申请日：1997-07-03

申请人： Ajay Jain ,  Robert L. Hance

发明人： Ajay Jain ,  Robert L. Hance

IPC分类号： G01N23/223 ,  H01L21/66 ,  G01R31/26

CPC分类号： H01L22/12

摘要： A method and apparatus for detecting copper (Cu) contamination on the backside of a wafer (120) begins by providing the wafer (120). The wafer (120) is rotated about a rotational axis via a motor/computer controlled wafer stage (118). In addition to rotation of the wafer (120), motor/computer control of a monochromator (116) is used to raster scan an X-ray beam (114b) across a surface of the rotating wafer (120). A plurality of X-ray detectors (122) are arrayed in one or more rows in close proximity to the scanned surface of the semiconductor wafer (120). The detectors (122), detect X-ray fluorescence emission from the surface of the wafer (120) whereby copper contamination of the wafer (120) can be determined in an accurate and time efficient manner which enables contamination detection in-line with normal wafer processing.

摘要翻译： 一种用于检测晶片（120）背面上的铜（Cu）污染的方法和装置开始于提供晶片（120）。 晶片（120）经由电动机/计算机控制的晶片台（118）围绕旋转轴线旋转。 除了晶片（120）的旋转之外，单色仪（116）的马达/计算机控制被用于跨过旋转晶片（120）的表面扫描X射线束（114b）。 多个X射线检测器（122）以与半导体晶片（120）的扫描表面相邻的一行或多行排列。 检测器（122）检测来自晶片（120）的表面的X射线荧光发射，从而可以精确和时间有效的方式确定晶片（120）的铜污染，这使得能够与正常晶片一起进行污染检测 处理。

公开(公告)号：US08123838B2

公开(公告)日：2012-02-28

申请号：US12496766

申请日：2009-07-02

申请人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

发明人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

IPC分类号： B01D45/12

CPC分类号： B04B5/08 ,  B01D45/14 ,  B04B1/08 ,  B04B5/10

摘要： A method and apparatus for separating particles preferentially accelerates particles to a rotating collector, which then reliably conveys collected particles to a discharge with minimal re-entrainment of the particles in the fluid stream. The collector minimizes energy transfer to the fluid and maximizes separation under conditions of high particle loading, fine particle content, or both. The separator may be operated in any vertical, horizontal or oblique orientation, or within devices whose orientation varies over time.

摘要翻译： 用于分离颗粒的方法和装置优先地将颗粒加速到旋转收集器，然后可以将颗粒收集的颗粒可靠地输送到排出物，同时微粒在流体流中的再夹带。 收集器最小化能量转移到流体，并在高颗粒负载，细颗粒含量或两者的条件下最大化分离。 分离器可以以任何垂直，水平或倾斜的方向操作，或者在取向随时间变化的装置内操作。

公开(公告)号：US20100121128A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US11407770

申请日：2006-04-19

申请人： Robert L. Hance ,  John E. Kane ,  Stephanie G. Dye

发明人： Robert L. Hance ,  John E. Kane ,  Stephanie G. Dye

IPC分类号： A62D3/38

CPC分类号： F23G7/003 ,  F23G2203/504 ,  F23G2900/50804 ,  Y02E20/12

摘要： A system for treating carbon-containing or silicon-containing end-of-life material includes a reactor 10 for simultaneously supporting oxidation of the waste material and conversion of CO2 within the reactor. A metal oxide or metal is input to the reactor to convert the CO2 to a mineralized CO2 product. A cold trap 44 is provided for capturing exhaust gases from the reactor and returning condensate to the reactor, and a pump 50 maintains a desired vacuum or pressure within the reactor and the cold trap.

摘要翻译： 用于处理含碳或含硅的寿命终止材料的系统包括用于同时支持废料的氧化和在反应器内转化CO 2的反应器10。 将金属氧化物或金属输入到反应器中以将CO 2转化为矿化的CO 2产物。 冷阱44被提供用于捕获来自反应器的废气并将冷凝物返回到反应器，并且泵50在反应器和冷阱内保持所需的真空或压力。

公开(公告)号：US07670139B2

公开(公告)日：2010-03-02

申请号：US11408539

申请日：2006-04-19

申请人： Robert L. Hance ,  John E. Kane ,  Stephanie G. Dye

发明人： Robert L. Hance ,  John E. Kane ,  Stephanie G. Dye

IPC分类号： C01B31/20

CPC分类号： F23J7/00 ,  B01D53/002 ,  B01D2258/06 ,  F23C10/007 ,  F23C2900/10006 ,  F23G2202/30 ,  F23J15/006 ,  F23J15/025 ,  F23J15/04 ,  F23J2215/50 ,  F23J2219/40 ,  F23J2219/70 ,  Y02E20/324

摘要： A system for combusting carbon-containing fuel includes a reactor 10 for simultaneously supporting oxidation of the fuel and conversion of CO2 within the reactor. A metal oxide or metal is input to the reactor to convert the CO2 to a mineralized CO2 product. A cold trap 44 is provided for capturing exhaust gases from the reactor and returning condensate to the reactor, and a gas pump 50 maintains a desired vacuum or pressure within the reactor and the cold trap. Combustion products may be recycled to increase their energy value.

摘要翻译： 用于燃烧含碳燃料的系统包括用于同时支持燃料的氧化和反应器内的CO 2的转化的反应器10。 将金属氧化物或金属输入到反应器中以将CO 2转化为矿化的CO 2产物。 冷阱44被设置用于捕获来自反应器的废气并将冷凝物返回到反应器，并且气体泵50在反应器和冷阱内维持所需的真空或压力。 燃烧产物可以被再循环以增加其能量值。

公开(公告)号：US20090266235A1

公开(公告)日：2009-10-29

申请号：US12496766

申请日：2009-07-02

申请人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

发明人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

IPC分类号： B03C3/00 ,  B04B5/08 ,  B04B7/12 ,  B03C1/00

CPC分类号： B04B5/08 ,  B01D45/14 ,  B04B1/08 ,  B04B5/10

摘要： A method and apparatus for separating particles preferentially accelerates particles to a rotating collector, which then reliably conveys collected particles to a discharge with minimal re-entrainment of the particles in the fluid stream. The collector minimizes energy transfer to the fluid and maximizes separation under conditions of high particle loading, fine particle content, or both. The separator may be operated in any vertical, horizontal or oblique orientation, or within devices whose orientation varies over time.

摘要翻译： 用于分离颗粒的方法和装置优先地将颗粒加速到旋转收集器，然后可以将颗粒收集的颗粒可靠地输送到排出物，同时微粒在流体流中的再夹带。 收集器最小化能量转移到流体，并在高颗粒负载，细颗粒含量或两者的条件下最大化分离。 分离器可以以任何垂直，水平或倾斜的方向操作，或者在取向随时间变化的装置内操作。

公开(公告)号：US07569094B2

公开(公告)日：2009-08-04

申请号：US11481778

申请日：2006-07-06

申请人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

发明人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

IPC分类号： B03C1/00 ,  B03C3/00 ,  B01D45/12

CPC分类号： B04B5/08 ,  B01D45/14 ,  B04B1/08 ,  B04B5/10

摘要： A method and apparatus for separating particles preferentially accelerates particles to a rotating collector, which then reliably conveys collected particles to a discharge with minimal re-entrainment of the particles in the fluid stream. The collector minimizes energy transfer to the fluid and maximizes separation under conditions of high particle loading, fine particle content, or both. The separator may be operated in any vertical, horizontal or oblique orientation, or within devices whose orientation varies over time.

摘要翻译： 用于分离颗粒的方法和装置优先地将颗粒加速到旋转收集器，然后可以将颗粒收集的颗粒可靠地输送到排出物，同时微粒在流体流中的再夹带。 收集器最小化能量转移到流体，并在高颗粒负载，细颗粒含量或两者的条件下最大化分离。 分离器可以以任何垂直，水平或倾斜的方向操作，或者在其方向随时间变化的装置内操作。

公开(公告)号：US20080009402A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11481778

申请日：2006-07-06

申请人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

发明人： John E. Kane ,  Robert L. Hance

IPC分类号： B04B1/20 ,  B04B3/04

CPC分类号： B04B5/08 ,  B01D45/14 ,  B04B1/08 ,  B04B5/10

摘要： A method and apparatus for separating particles preferentially accelerates particles to a rotating collector, which then reliably conveys collected particles to a discharge with minimal re-entrainment of the particles in the fluid stream. The collector minimizes energy transfer to the fluid and maximizes separation under conditions of high particle loading, fine particle content, or both. The separator may be operated in any vertical, horizontal or oblique orientation, or within devices whose orientation varies over time.

摘要翻译： 用于分离颗粒的方法和装置优先地将颗粒加速到旋转收集器，然后可以将颗粒收集的颗粒可靠地输送到排出物，同时微粒在流体流中的再夹带。 收集器最小化能量转移到流体，并在高颗粒负载，细颗粒含量或两者的条件下最大化分离。 分离器可以以任何垂直，水平或倾斜的方向操作，或者在取向随时间变化的装置内操作。