公开(公告)号：US4766411A

公开(公告)日：1988-08-23

申请号：US868843

申请日：1986-05-29

申请人： Argenis R. Prieto ,  David P. Clark

发明人： Argenis R. Prieto ,  David P. Clark

IPC分类号： H01C7/00 ,  H01C7/06 ,  H01C7/18 ,  H01C17/08 ,  H01C17/232 ,  H01C1/012

CPC分类号： H01C7/06 ,  H01C17/232 ,  H01C7/008 ,  H01C7/18

摘要： A compositionally modulated multilayer thin film material system for use as a resistive material in metal film resistors wherein at least two different metallic compositions having good resistive properties are deposited alternately in thin film layers on a substrate, the resulting film having improved TCR & TCR Slope characteristics.

摘要翻译： 一种用于金属膜电阻器中的电阻材料的组成调制多层薄膜材料系统，其中具有良好电阻性质的至少两种不同的金属组合交替沉积在基底上的薄膜层中，所得膜具有改善的TCR和TCR斜率特性 。