公开(公告)号：US20050247674A1

公开(公告)日：2005-11-10

申请号：US10526497

申请日：2003-08-08

申请人： Armin Kubelbeck ,  Sylke Klein ,  Werner Stockum

发明人： Armin Kubelbeck ,  Sylke Klein ,  Werner Stockum

IPC分类号： C09K13/02 ,  H01L21/306 ,  B44C1/22 ,  C03C25/68

CPC分类号： H01L21/02019 ,  C09K13/02 ,  H01L21/30604 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： The invention relates to novel etching media in the form of etching pastes for etching selected areas or the entire area of silicon surfaces and layers, in addition to the use of said media.

摘要翻译： 本发明涉及蚀刻浆料形式的新型蚀刻介质，用于蚀刻选定区域或硅表面和层的整个区域，以及使用所述介质。

公开(公告)号：US20060118759A1

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：US10524847

申请日：2003-07-30

申请人： Sylke Klein ,  Armin Kubelbeck ,  Werner Stockum

发明人： Sylke Klein ,  Armin Kubelbeck ,  Werner Stockum

IPC分类号： C09K13/00 ,  B44C1/22 ,  C23F1/00

CPC分类号： C03C15/00 ,  C09K13/08 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

摘要： The present invention relates to novel etching media in the form of printable and dispensable etching pastes for the etching of titanium oxide surfaces of the general composition TixOy, and to the use of these etching pastes in a process for the etching of titanium oxide surfaces

摘要翻译： 本发明涉及以可印刷和可分配的蚀刻浆料形式的新型蚀刻介质，用于蚀刻一般组成Ti x O y O y的氧化钛表面， 在氧化钛表面的蚀刻过程中使用这些蚀刻浆料

公开(公告)号：US20090071540A1

公开(公告)日：2009-03-19

申请号：US12246516

申请日：2008-10-07

申请人： Sylke KLEIN ,  Armin Kubelbeck ,  Wemer Stockum ,  Wilfried Schmidt ,  Berthold Schum

发明人： Sylke KLEIN ,  Armin Kubelbeck ,  Wemer Stockum ,  Wilfried Schmidt ,  Berthold Schum

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/31111 ,  C09K13/04 ,  H01L31/02168 ,  Y02E10/547

摘要： The present invention relates firstly to HF/fluoride-free etching and doping media which are suitable both for the etching of inorganic layers and also for the doping of underlying layers. The present invention secondly also relates to a process in which these media are employed.

摘要翻译： 本发明首先涉及适用于无机层的蚀刻以及掺杂下层的HF /无氟化物蚀刻和掺杂介质。 另外本发明还涉及使用这些介质的方法。

公开(公告)号：US5455062A

公开(公告)日：1995-10-03

申请号：US372878

申请日：1995-01-13

申请人： Eberhard Muhlfriedal ,  Armin Kubelbeck ,  Torsten Gerisch ,  Karl Appich ,  Jakob Szekeresch ,  Martin Kallis

发明人： Eberhard Muhlfriedal ,  Armin Kubelbeck ,  Torsten Gerisch ,  Karl Appich ,  Jakob Szekeresch ,  Martin Kallis

IPC分类号： B05C9/02 ,  B05C9/12 ,  B05C11/08 ,  B05C11/105 ,  B05D1/00 ,  B05D1/26 ,  B05D1/40

CPC分类号： B05C9/12 ,  B05C11/08 ,  B05C11/105 ,  B05C9/02 ,  B05D1/005 ,  B05D1/26

摘要： A device for coating a plate has an open channel being open in an upward direction and a device for supplying a liquid to the open channel. The liquid in the open channel forms an convexly curved portion projecting upwardly from the open channel. A device for transporting a plate at a close distance past the open channel is provided, with which a surface to be coated of the plate facing the convexly curved portion of the liquid is guided such that a thin film of the liquid is deposited on the surface to be coated by adhesion effects. Another device for lacquering or coating plates or disks has a capillary slot that is filled with a liquid coating medium. The plate to be coated is advanced across the capillary slot with the surface to be coated facing downwardly so that due to the capillary effect a thin layer is deposited on the surface of the plate.

摘要翻译： 用于涂覆板的装置具有向上方向打开的开放通道和用于向开放通道供应液体的装置。 开放通道中的液体形成从开放通道向上突出的凸形弯曲部分。 提供了一种用于在近距离通过开放通道的板材输送板的装置，其中面向液体的凸形弯曲部分的板的待涂覆表面被引导，使得液体的薄膜沉积在表面上 被粘附效果涂层。 用于涂漆或涂布板或盘的另一装置具有填充有液体涂布介质的毛细槽。 要涂覆的板被推进穿过毛细管槽，待涂覆的表面朝下，使得由于毛细管效应，薄层沉积在板的表面上。