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    OPTICAL COMPONENT
    1.
    发明申请
    OPTICAL COMPONENT 有权
    光学元件

    公开(公告)号：US20140327895A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334107

    申请日：2014-07-17

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Severin Waldis ,  Marco Jassmann ,  Caglar Ataman ,  Roger Marc Bostock ,  Jian Deng ,  Sebastian Lani ,  Benedikt Knauf

    IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B26/08

    CPC分类号： G03F7/702 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/7085

    摘要： An optical component comprising a mirror array having a multiplicity of mirror elements, which each have at least one degree of freedom of displacement, and which are each connected to at least one actuator for displacement, has a multiplicity of local regulating devices for damping oscillations of the mirror elements, wherein each of the regulating devices in each case has at least one capacitive sensor having at least one moveable electrode and at least one electrode arranged rigidly relative to the carrying structure.

    摘要翻译： 一种光学部件，包括具有多个反射镜元件的反射镜阵列，每个反射镜元件各自具有至少一个自由度位移，并且各自连接至少一个用于位移的致动器，具有多个局部调节装置，用于阻尼振荡 镜子元件，其中在每种情况下每个调节装置具有至少一个具有至少一个可移动电极的电容传感器和至少一个相对于承载结构刚性布置的电极。

    OPTICAL COMPONENT
    2.
    发明申请
    OPTICAL COMPONENT 审中-公开
    光学元件

    公开(公告)号：US20140327896A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334281

    申请日：2014-07-17

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Severin Waldis ,  Matthias Orth ,  Roger Marc Bostock ,  Jian Deng ,  Sebastian Lani ,  Benedikt Knauf ,  Christian Kempter

    IPC分类号： G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/702 ,  G02B7/1827 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/00 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70291

    摘要： An optical component comprises a mirror array having a multiplicity of mirror elements, which are each connected to at least one actuator for displacement, a multiplicity of signal lines for the signal-transmitting connection of the actuators to an external, global control/regulating device for predefining an absolute position of the individual mirror elements, and a multiplicity of local regulating devices for regulating the positioning of the mirror elements, wherein the regulating devices are in each case completely integrated into the component.

    摘要翻译： 光学部件包括具有多个反射镜元件的反射镜阵列，每个反射镜元件各自连接至至少一个用于位移的致动器，用于将致动器的信号传输连接到外部全局控制/调节装置的多条信号线， 预先定义各个镜像元件的绝对位置，以及用于调节镜元件的定位的多个局部调节装置，其中调节装置在每种情况下完全集成到部件中。

    MIRROR ARRAY
    4.
    发明申请
    MIRROR ARRAY 有权
    镜子阵列

    公开(公告)号：US20140055767A1

    公开(公告)日：2014-02-27

    申请号：US14031464

    申请日：2013-09-19

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Severin Waldis ,  Sebastian Lani ,  Benedikt Knauf ,  Jian Deng ,  Roger Marc Bostock

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G02B26/0816 ,  G02B7/1815 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70825 ,  Y10T29/49117

    摘要： A mirror array having a total surface extending perpendicularly to a surface normal, comprises a multiplicity of mirror elements each having a reflection surface and at least one degree of freedom of displacement, wherein the totality of the mirror elements form a parqueting of a total reflection surface of the mirror array, and wherein the mirror array is embodied modularly as a tile element in such a way that the parqueting of the total reflection surface can be extended by a tiling of a plurality of such mirror arrays.

    摘要翻译： 具有垂直于表面法线延伸的总表面的反射镜阵列包括多个镜元件，每个镜元件具有反射表面和至少一个位移自由度，其中，镜元件的总体形成全反射面 的反射镜阵列，并且其中所述反射镜阵列以模块化的方式被构造为瓦片元件，使得全反射表面的折叠可以通过多个这样的反射镜阵列的平铺来延伸。