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    OPTICAL COMPONENT
    1.
    发明申请
    OPTICAL COMPONENT 审中-公开
    光学元件

    公开(公告)号：US20140327896A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334281

    申请日：2014-07-17

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Severin Waldis ,  Matthias Orth ,  Roger Marc Bostock ,  Jian Deng ,  Sebastian Lani ,  Benedikt Knauf ,  Christian Kempter

    IPC分类号： G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/702 ,  G02B7/1827 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/00 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70291

    摘要： An optical component comprises a mirror array having a multiplicity of mirror elements, which are each connected to at least one actuator for displacement, a multiplicity of signal lines for the signal-transmitting connection of the actuators to an external, global control/regulating device for predefining an absolute position of the individual mirror elements, and a multiplicity of local regulating devices for regulating the positioning of the mirror elements, wherein the regulating devices are in each case completely integrated into the component.

    摘要翻译： 光学部件包括具有多个反射镜元件的反射镜阵列，每个反射镜元件各自连接至至少一个用于位移的致动器，用于将致动器的信号传输连接到外部全局控制/调节装置的多条信号线， 预先定义各个镜像元件的绝对位置，以及用于调节镜元件的定位的多个局部调节装置，其中调节装置在每种情况下完全集成到部件中。

    METHOD FOR REGULATING THE TILTING OF A MIRROR ELEMENT
    2.
    发明申请
    METHOD FOR REGULATING THE TILTING OF A MIRROR ELEMENT 审中-公开
    调节镜面元件倾斜的方法

    公开(公告)号：US20150185469A1

    公开(公告)日：2015-07-02

    申请号：US14643786

    申请日：2015-03-10

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Jan Horn ,  Lars Berger ,  Matthias Hartmann ,  Benedikt Knauf ,  Matthias Orth ,  Severin Waldis

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  G01D5/2417 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/702

    摘要： An optical component comprises a carrying structure, at least one mirror element which is mounted in a tiltable manner relative to the carrying structure by an actuator system and which comprises at least one mirror electrode, at least one local regulating device for regulating the tilting of the mirror element, having at least one capacitive sensor and at least one actuator electrode for tilting the mirror element, and a signal generator for generating a modulation signal, having a frequency above a resonant frequency of the mirror element, wherein the signal generator is connected in a signal-transmitting manner to the at least one mirror electrode.

    摘要翻译： 光学部件包括承载结构，至少一个镜元件，其通过致动器系统相对于承载结构以可倾斜的方式安装，并且包括至少一个镜电极，至少一个局部调节装置，用于调节 具有至少一个电容传感器和至少一个用于倾斜镜子元件的致动器电极的反射镜元件，以及用于产生具有高于镜子元件的谐振频率的频率的调制信号的信号发生器，其中信号发生器连接在 信号传输方式到所述至少一个镜电极。

    OPTICAL COMPONENT
    3.
    发明申请
    OPTICAL COMPONENT 有权
    光学元件

    公开(公告)号：US20140327895A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334107

    申请日：2014-07-17

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Severin Waldis ,  Marco Jassmann ,  Caglar Ataman ,  Roger Marc Bostock ,  Jian Deng ,  Sebastian Lani ,  Benedikt Knauf

    IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B26/08

    CPC分类号： G03F7/702 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/7085

    摘要： An optical component comprising a mirror array having a multiplicity of mirror elements, which each have at least one degree of freedom of displacement, and which are each connected to at least one actuator for displacement, has a multiplicity of local regulating devices for damping oscillations of the mirror elements, wherein each of the regulating devices in each case has at least one capacitive sensor having at least one moveable electrode and at least one electrode arranged rigidly relative to the carrying structure.

    摘要翻译： 一种光学部件，包括具有多个反射镜元件的反射镜阵列，每个反射镜元件各自具有至少一个自由度位移，并且各自连接至少一个用于位移的致动器，具有多个局部调节装置，用于阻尼振荡 镜子元件，其中在每种情况下每个调节装置具有至少一个具有至少一个可移动电极的电容传感器和至少一个相对于承载结构刚性布置的电极。

    Optical Module
    7.
    发明申请
    Optical Module 有权
    光模块

    公开(公告)号：US20160025952A1

    公开(公告)日：2016-01-28

    申请号：US14809431

    申请日：2015-07-27

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Jan Horn ,  Benedikt Knauf

    IPC分类号： G02B7/182 ,  G03F7/20 ,  G02B19/00 ,  G02B5/09 ,  G02B5/08 ,  G21K1/06

    CPC分类号： G02B7/1827 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/09 ,  G02B7/1822 ,  G02B19/0095 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70825 ,  G21K1/067

    摘要： The present invention relates to an optical module, in particular facet mirror, comprising an optical element and a supporting structure for supporting the optical element, wherein the supporting structure comprises a positioning device for actively setting a position and/or orientation of the optical element in at least one degree of freedom. The supporting structure comprises a selectively activatable contacting device having at least one contacting unit having a first contact section, wherein the first contact section, in an activated state of the contacting device, contacts a second contact section of the optical element in order to exert a contact force on the optical element, while the first contact section, in a deactivated state of the contacting device is removed from the second contact section.

    摘要翻译： 本发明涉及一种光学模块，特别是面镜，包括光学元件和用于支撑光学元件的支撑结构，其中支撑结构包括用于主动地设置光学元件的位置和/或取向的定位装置 至少一个自由度。 支撑结构包括具有至少一个具有第一接触部分的接触单元的可选择性激活的接触装置，其中在接触装置的激活状态下的第一接触部分接触光学元件的第二接触部分，以便施加 接触装置的停用状态下的第一接触部分从第二接触部分移除。

    OPTICAL COMPONENT
    10.
    发明申请
    OPTICAL COMPONENT 有权
    光学元件

    公开(公告)号：US20160170201A1

    公开(公告)日：2016-06-16

    申请号：US15050664

    申请日：2016-02-23

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Markus Holz ,  Benjamin Sigel ,  Jan Horn ,  Benedikt Knauf ,  Fabian Zimmer

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G02B26/0833 ,  B81B7/007 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/70058 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

    摘要： An optical component includes at least one micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) with a front side and a rear side. The optical component also includes at least one printed circuit board arranged on the rear side of the at least one MOEMS. The at least one printed circuit board has lateral contacts. The at least one printed circuit board may be equipped with electronic parts and cooling elements. The at least one MOEMS projects laterally beyond the at least one printed circuit board.

    摘要翻译： 光学部件包括具有前侧和后侧的至少一个微光电机械系统（MOEMS）。 光学部件还包括布置在至少一个MOEMS的后侧上的至少一个印刷电路板。 所述至少一个印刷电路板具有侧向接触。 所述至少一个印刷电路板可以配备有电子部件和冷却元件。 所述至少一个MOEMS横向突出至少一个印刷电路板。