-
公开(公告)号：US5472616A
公开(公告)日：1995-12-05
申请号：US143489
申请日：1993-10-27
CPC分类号： B01J41/046 , B01J47/006
摘要： The invention is for a process of removing anions from an organic solution, especially one having base labile components. The process comprises modifying an anion exchange resin by treatment with a solution of a source of anions less basic than the hydroxyl anion and contacting said modified ion exchange resin with an organic solution containing anions. The process is especially useful for treating photoresist compositions.
摘要翻译： 本发明涉及从有机溶液中除去阴离子的方法，特别是具有碱不稳定组分的阴离子。 该方法包括通过用比羟基阴离子碱性低的阴离子溶液处理并使所述改性离子交换树脂与含有阴离子的有机溶液接触来改性阴离子交换树脂。 该方法对于处理光致抗蚀剂组合物特别有用。
-
公开(公告)号：US5443736A
公开(公告)日：1995-08-22
申请号：US139923
申请日：1993-10-20
摘要： The invention is for a process of removing organic contaminants and multivalent metal ions from solution. The process comprises chelating multivalent metal ions in an organic solution to be purified and contacting the solution with activated carbon. The process is especially useful for removal of multivalent metal ions from a solution of photoresist components.
摘要翻译： 本发明是用于从溶液中除去有机污染物和多价金属离子的方法。 该方法包括在待纯化的有机溶液中螯合多价金属离子并使该溶液与活性炭接触。 该方法对于从光致抗蚀剂组分的溶液中除去多价金属离子是特别有用的。
-
公开(公告)号：US5674662A
公开(公告)日：1997-10-07
申请号：US648408
申请日：1996-05-15
CPC分类号： G03F7/038 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/039
摘要： The invention is a process of removing metal ion contaminants from an organic solution, especially one having acid labile components. The process comprises modifying a cationic exchange resin by treatment with ammonia or amine and contacting said modified ion exchange resin with an organic solution containing metal ion contaminants. The process is especially useful for treating photoresist compositions.
摘要翻译： 本发明是从有机溶液中去除金属离子污染物的方法，特别是具有酸不稳定组分的方法。 该方法包括用氨或胺处理改性阳离子交换树脂，并使所述改性离子交换树脂与含有金属离子污染物的有机溶液接触。 该方法对于处理光致抗蚀剂组合物特别有用。
-
公开(公告)号：US5571657A
公开(公告)日：1996-11-05
申请号：US128994
申请日：1993-09-30
CPC分类号： G03F7/038 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/039
摘要： The invention is a process of removing metal ion contaminants from an organic solution, especially one having acid labile components. The process comprises modifying a cationic exchange resin by treatment with ammonia or amine and contacting said modified ion exchange resin with an organic solution containing metal ion contaminants. The process is especially useful for treating photoresist compositions.
摘要翻译： 本发明是从有机溶液中去除金属离子污染物的方法，特别是具有酸不稳定组分的方法。 该方法包括用氨或胺处理改性阳离子交换树脂，并使所述改性离子交换树脂与含有金属离子污染物的有机溶液接触。 该方法对于处理光致抗蚀剂组合物特别有用。
-
公开(公告)号：US07585612B2
公开(公告)日：2009-09-08
申请号：US11481209
申请日：2006-07-05
IPC分类号： G03C1/825
CPC分类号： G03F7/11 , G03F7/0392 , G03F7/091
摘要： Underlying coating compositions are provided for use with an overcoated photoresist composition. In one aspect, the coating composition can be crosslinked and comprise one or more components that contain one or more acid-labile groups and/or one or more base-reactive groups that are reactive following crosslinking. In another aspect, underlying coating composition are provided that can be treated to provide a modulated water contact angle. Preferred coating compositions can enhance lithographic performance of an associated photoresist composition.
摘要翻译： 提供底涂层组合物用于外涂光致抗蚀剂组合物。 在一个方面，涂料组合物可以是交联的并且包含一种或多种含有一个或多个酸不稳定基团的组分和/或一个或多个在交联后是反应性的碱反应性基团。 在另一方面，提供了可以处理以提供调制水接触角的下面的涂料组合物。 优选的涂料组合物可以增强相关光致抗蚀剂组合物的平版印刷性能。
-
公开(公告)号：US07274035B2
公开(公告)日：2007-09-25
申请号：US10927174
申请日：2004-08-25
申请人： Yang Yang , Jianyong Ouyang , Charles R. Szmanda
发明人： Yang Yang , Jianyong Ouyang , Charles R. Szmanda
IPC分类号： H01L31/00
CPC分类号： G11C13/0014 , B82Y10/00 , G11C13/0009 , G11C13/0016 , G11C2213/71 , G11C2213/72 , G11C2213/77
摘要： A composition for the formation of an electric field programmable film, the composition comprising a matrix precursor composition or a dielectric matrix material, wherein the dielectric matrix material comprises an organic polymer and/or a inorganic oxide; and an electron donor and an electron acceptor of a type and in an amount effective to provide electric field programming. The films are of utility in data storage devices.
摘要翻译： 一种用于形成电场可编程膜的组合物，所述组合物包含基质前体组合物或介电基质材料，其中介电基质材料包含有机聚合物和/或无机氧化物; 以及有效提供电场编程的类型和数量的电子给体和电子受体。 这些电影在数据存储设备中具有实用价值。
-
公开(公告)号：US07118847B2
公开(公告)日：2006-10-10
申请号：US10970837
申请日：2004-10-22
CPC分类号： G03F7/0395 , C08F32/08 , G03F7/0045 , G03F7/039 , G03F7/0397 , Y10S430/108
摘要： Disclosed are spirocyclic olefin polymers, methods of preparing spirocyclic olefin polymers, photresist compositions including spirocyclic olefin resin binders and methods of forming relief images using such photoresist compositions.
摘要翻译： 公开了螺环烯烃聚合物，制备螺环烯烃聚合物的方法，包括螺环烯烃树脂粘合剂的光热组合物以及使用这种光致抗蚀剂组合物形成浮雕图像的方法。
-
公开(公告)号：US06749983B1
公开(公告)日：2004-06-15
申请号：US09330418
申请日：1999-06-11
申请人： Gary N. Taylor , Charles R. Szmanda
发明人： Gary N. Taylor , Charles R. Szmanda
IPC分类号： G03C173
CPC分类号： C08F220/18 , C08K5/42 , G03F7/0045 , G03F7/039 , Y10S430/111 , Y10S430/115
摘要： The present invention provides novel polymers and chemically-amplified positive-acting photoresist compositions that contain such polymers as a resin binder component. Preferred polymers of the invention include one or more structural groups that are capable of reducing the temperature required for effective deprotection of acid-labile moieties of the polymer.
摘要翻译： 本发明提供了含有树脂粘合剂成分等聚合物的新型聚合物和化学增幅正性光致抗蚀剂组合物。 本发明优选的聚合物包括能够降低聚合物酸不稳定部分有效去保护所需温度的一个或多个结构基团。
-
公开(公告)号：US06599677B2
公开(公告)日：2003-07-29
申请号：US10126904
申请日：2002-04-20
IPC分类号： G03F7004
CPC分类号： G03F7/0395 , C08F32/08 , G03F7/0045 , G03F7/039 , G03F7/0397 , Y10S430/108
摘要： Disclosed are spirocyclic olefin ploymers, methods of preparing spirocyclic olefin polymers, photoresist compositions including spirocyclic olefin resin binders and methods of forming relief images using such photoresist compositions.
-
公开(公告)号：US4462860A
公开(公告)日：1984-07-31
申请号：US451029
申请日：1982-12-20
申请人： Charles R. Szmanda
发明人： Charles R. Szmanda
CPC分类号： G01B11/0683 , G03F7/30
摘要： The clearing point of photoresist development is detected automatically by illuminating the developing photoresist surface with intense monochromatic light. Interfering reflection from the resist-substrate interface and the fast eroding and slow eroding resist surfaces produces fast and slow oscillatory signals. These signals are processed to produce a logical output indicative of the cessation of the fast oscillations in the presence of the continuing slow oscillations signaling the clearing point of development.
摘要翻译： 通过用强烈的单色光照射显影的光致抗蚀剂表面，自动检测光致抗蚀剂显影的清除点。 来自抗蚀剂 - 衬底界面的干涉反射和快速腐蚀和缓慢蚀刻的抗蚀剂表面产生快速和慢速的振荡信号。 这些信号被处理以产生指示快速振荡停止的逻辑输出，在存在持续的缓慢振荡的情况下，发出清除发展点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
39 条记录 (耗时 0.022 秒)
