公开(公告)号：US20050229125A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US10816764

申请日：2004-04-02

申请人： Cyrus Tabery ,  Todd Lukanc ,  Chris Haidinyak ,  Luigi Capodieci ,  Carl Babcock ,  Hung-eil Kim ,  Christopher Spence

发明人： Cyrus Tabery ,  Todd Lukanc ,  Chris Haidinyak ,  Luigi Capodieci ,  Carl Babcock ,  Hung-eil Kim ,  Christopher Spence

IPC分类号： G03F7/20 ,  G06F17/50

CPC分类号： G03F7/70433 ,  G03F7/705

摘要： A method of selecting a plurality of lithography process parameters for patterning a layout on a wafer includes simulating how the layout will print on the wafer for a plurality of resolution enhancement techniques (RETs), where each RET corresponds to a plurality of lithography process parameters. For each RET, the edges of structures within the simulated layout can be classified based on manufacturability. RETs that provide optimal manufacturability can be selected. In this manner, the simulation tool can be used to determine the optimal combination of scanner setup and reticle type for minimizing the variation in wafer critical dimension (CD).

摘要翻译： 选择用于在晶片上构图布局的多个光刻工艺参数的方法包括模拟布局如何在晶片上印刷多个分辨率增强技术（RET），其中每个RET对应于多个光刻工艺参数。 对于每个RET，模拟布局中的结构边缘可以基于可制造性进行分类。 可以选择提供最佳可制造性的RET。 以这种方式，仿真工具可用于确定扫描仪设置和掩模版类型的最佳组合，以最小化晶片临界尺寸（CD）的变化。

公开(公告)号：US20070209030A1

公开(公告)日：2007-09-06

申请号：US11741845

申请日：2007-04-30

申请人： Cyrus Tabery ,  Todd Lukanc ,  Chris Haidinyak ,  Luigi Capodieci ,  Carl Babcock ,  Hung-eil Kim ,  Christopher Spence

发明人： Cyrus Tabery ,  Todd Lukanc ,  Chris Haidinyak ,  Luigi Capodieci ,  Carl Babcock ,  Hung-eil Kim ,  Christopher Spence

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G03F7/70433 ,  G03F7/705

摘要： A method of selecting a plurality of lithography process parameters for patterning a layout on a wafer includes simulating how the layout will print on the wafer for a plurality of resolution enhancement techniques (RETs), where each RET corresponds to a plurality of lithography process parameters. For each RET, the edges of structures within the simulated layout can be classified based on manufacturability. RETs that provide optimal manufacturability can be selected. In this manner, the simulation tool can be used to determine the optimal combination of scanner setup and reticle type for minimizing the variation in wafer critical dimension (CD).

摘要翻译： 选择用于在晶片上构图布局的多个光刻工艺参数的方法包括模拟布局如何在晶片上印刷多个分辨率增强技术（RET），其中每个RET对应于多个光刻工艺参数。 对于每个RET，模拟布局中的结构边缘可以基于可制造性进行分类。 可以选择提供最佳可制造性的RET。 以这种方式，仿真工具可用于确定扫描仪设置和掩模版类型的最佳组合，以最小化晶片临界尺寸（CD）的变化。

公开(公告)号：US20050243299A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：US10833651

申请日：2004-04-28

申请人： Christopher Spence ,  Todd Lukanc ,  Luigi Capodieci ,  Joerg Reiss ,  Sarah McGowan

发明人： Christopher Spence ,  Todd Lukanc ,  Luigi Capodieci ,  Joerg Reiss ,  Sarah McGowan

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03B27/72

CPC分类号： G03F7/7085 ,  G03F7/70133 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/70666 ,  G03F7/70941

摘要： A system and method for generating an illumination intensity profile of an illuminator that forms part of a projection lithography system. Radiation from the illuminator is projected towards an illumination profile mask having a plurality of apertures such that each aperture passes a distinct portion of the radiation. The intensity of each of the distinct portions of radiation is detected and assembled to form the illumination intensity profile.

摘要翻译： 一种用于产生形成投影光刻系统的一部分的照明器的照明强度分布的系统和方法。 来自照明器的辐射被投射到具有多个孔的照明轮廓掩模，使得每个孔通过辐射的不同部分。 检测并组装每个不同部分的辐射的强度以形成照射强度分布。

公开(公告)号：US06562639B1

公开(公告)日：2003-05-13

申请号：US09993166

申请日：2001-11-06

申请人： Anna Minvielle ,  Luigi Capodieci ,  Christopher Spence

发明人： Anna Minvielle ,  Luigi Capodieci ,  Christopher Spence

IPC分类号： H01L2166

CPC分类号： G03F7/70625 ,  G03F7/70658 ,  H01L22/34

摘要： In order to determine an amount of critical dimension variation to expect across a surface of a final production wafer, a plurality of test structures are formed on a test wafer. The test structures are preferably of a type commonly found on the final production wafer and may for example, include transistors, ring oscillators, resistors and/or diodes. Electrical parameter testing of the test structures is next conducted in order to obtain one or more electrical performance values for each test structure. For example, the electrical performance values may correspond to processing speed, drive current, and/or off-state current of the test structures. A correlation between the electrical performance values and expected critical dimension variations is then performed and a report is generated providing the expected critical dimension variations across the surface of the wafer. Expected critical dimension variations may be accounted for by varying characteristics of devices used during a photolithographic transfer process to the final production wafers.

摘要翻译： 为了确定在最终生产晶片的表面上期望的临界尺寸变化的量，在测试晶片上形成多个测试结构。 测试结构优选地是在最终生产晶片上常见的类型，并且可以例如包括晶体管，环形振荡器，电阻器和/或二极管。 接下来进行测试结构的电气参数测试，以获得每个测试结构的一个或多个电性能值。 例如，电性能值可对应于测试结构的处理速度，驱动电流和/或截止状态电流。 然后执行电性能值和预期临界尺寸变化之间的相关性，并且生成提供晶片表面上的预期临界尺寸变化的报告。 预期的临界尺寸变化可以通过将光刻转印过程中使用的器件的特性改变到最终生产晶片来考虑。

公开(公告)号：US20140354758A1

公开(公告)日：2014-12-04

申请号：US13975651

申请日：2013-08-26

申请人： Christopher Spence

发明人： Christopher Spence

IPC分类号： H04N7/14

CPC分类号： H04N7/147 ,  G06Q20/389 ,  H04L63/00

摘要： A system and related method are disclosed for remotely notarizing a document and for recording digital notary logbook entries. A signatory records a video of a document signing on one device, and the video is conveyed to another device operated by the notary, with additional data for verification and to assist the notary. The notary notarizes the document physically or digitally, and enters a logbook entry together with the data from the signatory. Metadata including times and locations of data entry is added to the logbook data file.

摘要翻译： 公开了用于远程公证文件和用于记录数字公证日志条目的系统和相关方法。 签名人记录在一个设备上签名的文件的视频，并将该视频传送给由公证人操作的另一设备，并附加数据进行验证并协助公证人。 公证人物理或数字地公证文件，并与签字人的数据一起输入日志条目。 包括数据输入的时间和位置的元数据被添加到日志数据文件中。

公开(公告)号：US20130290728A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：US13710882

申请日：2012-12-11

申请人： Christopher Spence

发明人： Christopher Spence

IPC分类号： H04L9/32

CPC分类号： H04L9/3231 ,  G06Q50/18

摘要： Disclosed is a method and system for an electronic notary journal, to run on a smartphone or computer or similar device. Embodiments allow for the storage in local memory or in a database of data that would go in a notary journal, plus metadata. Further embodiments record digital photographs or scans of the customer, witnesses, and documents. Video of the service itself can also be included in the data. Metadata recording the time, date, and geographical location at which the notary data was saved are incorporated with the notary data.

摘要翻译： 公开了一种用于在智能电话或计算机或类似设备上运行的电子公证杂志的方法和系统。 实施例允许在本地存储器中或在公证杂志中的数据的数据库中加上元数据。 其他实施例记录客户，证人和文件的数字照片或扫描。 服务本身的视频也可以包含在数据中。 记录公证人数据保存的时间，日期和地理位置的元数据与公证数据相结合。