公开(公告)号：US06934606B1

公开(公告)日：2005-08-23

申请号：US10600667

申请日：2003-06-20

申请人： Damon Genetti ,  Wayne Tang ,  Mikhail Bojinov ,  Stephan Minard

发明人： Damon Genetti ,  Wayne Tang ,  Mikhail Bojinov ,  Stephan Minard

IPC分类号： G05B19/00 ,  G05B19/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/67775 ,  G05B2219/37415 ,  G05B2219/39024 ,  G05B2219/39527 ,  G05B2219/40555 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681

摘要： In one embodiment, a wafer-handling robot in a wafer processing system is automatically calibrated by determining an orientation of the robot relative to a chassis of the wafer processing system, determining hand-off coordinates of a load port in the wafer processing system, and determining hand-off coordinates of a load lock in the wafer processing system. Also disclosed is a calibration fixture for automatically calibrating the wafer-handling robot to the load port.

摘要翻译： 在一个实施例中，晶片处理系统中的晶片处理机器人通过确定机器人相对于晶片处理系统的机架的取向，确定晶片处理系统中的负载端口的切换坐标以及 确定晶片处理系统中的负载锁定的切换坐标。 还公开了一种用于将晶片处理机器人自动校准到负载端口的校准夹具。