公开(公告)号：US06934606B1

公开(公告)日：2005-08-23

申请号：US10600667

申请日：2003-06-20

申请人： Damon Genetti ,  Wayne Tang ,  Mikhail Bojinov ,  Stephan Minard

发明人： Damon Genetti ,  Wayne Tang ,  Mikhail Bojinov ,  Stephan Minard

IPC分类号： G05B19/00 ,  G05B19/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/67775 ,  G05B2219/37415 ,  G05B2219/39024 ,  G05B2219/39527 ,  G05B2219/40555 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681

摘要： In one embodiment, a wafer-handling robot in a wafer processing system is automatically calibrated by determining an orientation of the robot relative to a chassis of the wafer processing system, determining hand-off coordinates of a load port in the wafer processing system, and determining hand-off coordinates of a load lock in the wafer processing system. Also disclosed is a calibration fixture for automatically calibrating the wafer-handling robot to the load port.

摘要翻译： 在一个实施例中，晶片处理系统中的晶片处理机器人通过确定机器人相对于晶片处理系统的机架的取向，确定晶片处理系统中的负载端口的切换坐标以及 确定晶片处理系统中的负载锁定的切换坐标。 还公开了一种用于将晶片处理机器人自动校准到负载端口的校准夹具。

公开(公告)号：US07811153B1

公开(公告)日：2010-10-12

申请号：US11731737

申请日：2007-03-30

申请人： Rich Blank ,  Peter Thaulad ,  Wayne Tang ,  Kevin Bertsch ,  Paul Franzen ,  Ken Reynolds

发明人： Rich Blank ,  Peter Thaulad ,  Wayne Tang ,  Kevin Bertsch ,  Paul Franzen ,  Ken Reynolds

IPC分类号： B24B49/00 ,  B24B51/00

CPC分类号： H01L21/67219 ,  B24B37/345 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： A work piece handling apparatus moves workpieces with a plurality of independently movable load cups that have combined multiple axes of motion. The apparatus can load and unload work pieces from a wet process station and move work pieces between wet process stations and maintain wet chemistry delivery to the workpiece without involving a robot. A method of work piece handling using the apparatus provides a significant throughput improvement by reducing the inherent time lag of pneumatic systems and eliminating multiple steps involving the robot during inter-station wafer transfer.

摘要翻译： 工件处理装置利用具有组合的多个运动轴的多个可独立移动的装载杯移动工件。 该设备可以从湿处理站加载和卸载工件，并在湿处理站之间移动工件，并保持湿化学物质输送到工件而不涉及机器人。 使用该装置的工件处理方法通过减少气动系统的固有时滞并且消除了在台站间晶片传送期间涉及机器人的多个步骤而提供了显着的通量提高。

公开(公告)号：US08757345B2

公开(公告)日：2014-06-24

申请号：US12432620

申请日：2009-04-29

申请人： Rich Blank ,  Jim Roberts ,  Wayne Tang ,  Michael Bergeson

发明人： Rich Blank ,  Jim Roberts ,  Wayne Tang ,  Michael Bergeson

IPC分类号： G05G5/00 ,  G05G5/04

CPC分类号： B25J9/101 ,  H01L21/67742

摘要： Rotational hardstop assemblies that provide greater than 360 degrees of non-continuous rotation for rotating mechanisms are provided. In certain embodiments, an assembly is used to provide 630 or more degrees of rotation for the shoulder axis of a robot, such as a wafer transfer robot. The rotational hardstop assemblies include opposing magnets as springs. According to various embodiments, the opposing magnets provide non-contact engagement and produce no contact noise nor have any wear over time. The rotational hardstop assemblies provide the ability to location from either direction of rotation of a robot cylindrical coordinate system.

摘要翻译： 提供了为旋转机构提供大于360度的非连续旋转的旋转硬止动组件。 在某些实施例中，组件用于为机器人（例如晶片传送机器人）的肩轴提供630或更多的旋转度。 旋转硬止动组件包括作为弹簧的相对磁体。 根据各种实施例，相对的磁体提供非接触接合，并且不产生接触噪声，也不会随着时间而磨损。 旋转硬止动组件提供从机器人圆柱坐标系的旋转方向定位的能力。

公开(公告)号：US20100278623A1

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：US12432620

申请日：2009-04-29

申请人： Rich Blank ,  Jim Roberts ,  Wayne Tang ,  Michael Bergeson

发明人： Rich Blank ,  Jim Roberts ,  Wayne Tang ,  Michael Bergeson

IPC分类号： H01L21/68 ,  B25J18/00 ,  F16D71/00

CPC分类号： B25J9/101 ,  H01L21/67742

摘要： Rotational hardstop assemblies that provide greater than 360 degrees of non-continuous rotation for rotating mechanisms are provided. In certain embodiments, an assembly is used to provide 630 or more degrees of rotation for the shoulder axis of a robot, such as a wafer transfer robot. The rotational hardstop assemblies include opposing magnets as springs. According to various embodiments, the opposing magnets provide non-contact engagement and produce no contact noise nor have any wear over time. The rotational hardstop assemblies provide the ability to location from either direction of rotation of a robot cylindrical coordinate system.

摘要翻译： 提供了为旋转机构提供大于360度的非连续旋转的旋转硬止动组件。 在某些实施例中，组件用于为机器人（例如晶片传送机器人）的肩轴提供630或更多的旋转度。 旋转硬止动组件包括作为弹簧的相对磁体。 根据各种实施例，相对的磁体提供非接触接合，并且不产生接触噪声，也不会随着时间而磨损。 旋转硬止动组件提供从机器人圆柱坐标系的旋转方向定位的能力。