公开(公告)号：US20130000672A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13534137

申请日：2012-06-27

申请人： Ezio Bovio ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

发明人： Ezio Bovio ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

IPC分类号： B08B9/087 ,  B08B9/093

CPC分类号： C23C16/4407 ,  B08B9/08

摘要： Systems and methods are provided for cleaning an interior surface of a chemical vapor deposition reactor bell used in the production of polysilicon.

摘要翻译： 提供了系统和方法来清洁用于生产多晶硅的化学气相沉积反应器钟的内表面。

公开(公告)号：US20120237678A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：US13418979

申请日：2012-03-13

申请人： Rodolfo Bovo ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

发明人： Rodolfo Bovo ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

IPC分类号： B05C13/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： C01B33/035 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4418 ,  Y10T117/10 ,  Y10T156/1961

摘要： A tool for harvesting polycrystalline silicon-coated rods from a chemical vapor deposition reactor includes a body including outer walls sized for enclosing the rods within the outer walls. Each outer wall includes a door for allowing access to at least one of the rods.

摘要翻译： 用于从化学气相沉积反应器收获多晶硅涂层的棒的工具包括一个主体，该主体包括尺寸适于将杆封闭在外壁内的外壁。 每个外壁都包括允许进入至少一个杆的门。

公开(公告)号：US08906453B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US13418979

申请日：2012-03-13

申请人： Rodolfo Bovo ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

发明人： Rodolfo Bovo ,  Paolo Molino ,  Diego Gava

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C16/24 ,  C23C16/44 ,  C01B33/035 ,  B05C11/00 ,  B05C13/00 ,  B05C13/02 ,  B29C63/00 ,  B03B9/00 ,  B03B9/06 ,  C30B35/00

CPC分类号： C01B33/035 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4418 ,  Y10T117/10 ,  Y10T156/1961

摘要： A tool for harvesting polycrystalline silicon-coated rods from a chemical vapor deposition reactor includes a body including outer walls sized for enclosing the rods within the outer walls. Each outer wall includes a door for allowing access to at least one of the rods.

摘要翻译： 用于从化学气相沉积反应器收获多晶硅涂层的棒的工具包括一个主体，该主体包括尺寸适于将杆封闭在外壁内的外壁。 每个外壁都包括允许进入至少一个杆的门。