公开(公告)号：US20090317975A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US12144071

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H01L21/311

CPC分类号： H01L21/7682 ,  H01L21/3148 ,  H01L21/318 ,  H01L21/3185 ,  H01L27/0248

摘要： A method for forming an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, a wafer with a multi-metal level wiring is provided and a hermetically sealed gap is formed therein to provide electro-static discharge protection for an integrated circuit.

摘要翻译： 描述形成片上高频静电放电装置的方法。 在一个实施例中，提供具有多金属水平布线的晶片，并且在其中形成气密密封的间隙以为集成电路提供静电放电保护。

公开(公告)号：US20090317970A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US12144089

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/76808 ,  H01L21/7682 ,  H01L27/0248

摘要： A method for forming an on-chip high frequency electro-static discharge device on an integrated circuit is described. In one embodiment of the method, a capped first dielectric layer with more than one electrode formed therein is provided. A second dielectric layer is deposited over the capped first dielectric layer. A first hard mask dielectric layer is deposited over the second dielectric layer. A cavity trench is formed through the first hard mask dielectric layer and the second dielectric layer to the first dielectric layer, wherein the cavity trench is formed in the first dielectric layer between two adjacent electrodes. At least one via is formed through the second dielectric layer about the cavity trench. A metal trench is formed around each of the at least one via. A release opening is formed over the cavity trench. A third dielectric layer is deposited over the second dielectric layer, wherein the third dielectric layer hermetically seals the release opening to provide electro-static discharge protection.

摘要翻译： 描述了在集成电路上形成片上高频静电放电装置的方法。 在该方法的一个实施例中，提供了一种其上形成有多于一个电极的封盖的第一电介质层。 在封盖的第一介电层上沉积第二介电层。 第一硬掩模介电层沉积在第二介电层上。 通过第一硬掩模电介质层和第二电介质层形成腔沟槽到第一介电层，其中在两个相邻电极之间的第一电介质层中形成空腔沟槽。 至少一个通孔围绕腔沟槽形成穿过第二电介质层。 在所述至少一个通孔中的每一个周围形成金属沟槽。 在空腔沟槽上形成释放开口。 在第二电介质层上沉积第三电介质层，其中第三介电层气密地密封释放开口以提供静电放电保护。

公开(公告)号：US20090316314A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US12144095

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H02H9/00 ,  G06F17/50

CPC分类号： H01L23/60 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A design structure for an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, the electro-static discharge structure comprises a first dielectric layer with more than one electrode formed therein. A second dielectric layer with more than one electrode formed therein is located above the first dielectric layer. At least one via connects the more than one electrode in the first dielectric layer with the more than one electrode in the second dielectric layer. A gap is formed through the first dielectric layer and the second dielectric layer, wherein the gap extends between two adjacent electrodes in both the first dielectric layer and the second dielectric layer. A third dielectric layer is disposed over the second dielectric layer, wherein the third dielectric layer hermetically seals the gap to provide electro-static discharge protection on the integrated circuit.

摘要翻译： 描述了片上高频静电放电装置的设计结构。 在一个实施例中，静电放电结构包括其中形成有多于一个电极的第一电介质层。 其中形成有多于一个电极的第二电介质层位于第一介电层的上方。 至少一个通孔将第一介电层中的多于一个的电极与第二介电层中的多于一个的电极连接。 通过第一电介质层和第二电介质层形成间隙，其中间隙在第一电介质层和第二电介质层中的两个相邻电极之间延伸。 第三电介质层设置在第二电介质层上，其中第三介电层气密地密封间隙以在集成电路上提供静电放电保护。

公开(公告)号：US07768762B2

公开(公告)日：2010-08-03

申请号：US12144084

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H02H7/20 ,  H02H9/00

CPC分类号： G06F17/5068 ,  H01L23/60 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A design structure for an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, the electro-static discharge device comprises a substrate and multiple metal level layers disposed on the substrate. Each metal level comprises more than one electrode formed therein and more than one via connecting with some of the electrodes in adjacent metal levels. The device further includes a gap formed about one of the metal level layers, wherein the gap is hermetically sealed to provide electro-static discharge protection for the integrated circuit.

摘要翻译： 描述了片上高频静电放电装置的设计结构。 在一个实施例中，静电放电装置包括衬底和设置在衬底上的多个金属层。 每个金属层包括多于一个电极，其中形成有多个电极，并且多个通孔与相邻金属层中的一些电极连接。 所述装置还包括围绕所述金属层之一形成的间隙，其中所述间隙被气密密封，以为所述集成电路提供静电放电保护。

公开(公告)号：US07759243B2

公开(公告)日：2010-07-20

申请号：US12144089

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/76808 ,  H01L21/7682 ,  H01L27/0248

摘要： A method for forming an on-chip high frequency electro-static discharge device on an integrated circuit is described. In one embodiment of the method, a capped first dielectric layer with more than one electrode formed therein is provided. A second dielectric layer is deposited over the capped first dielectric layer. A first hard mask dielectric layer is deposited over the second dielectric layer. A cavity trench is formed through the first hard mask dielectric layer and the second dielectric layer to the first dielectric layer, wherein the cavity trench is formed in the first dielectric layer between two adjacent electrodes. At least one via is formed through the second dielectric layer about the cavity trench. A metal trench is formed around each of the at least one via. A release opening is formed over the cavity trench. A third dielectric layer is deposited over the second dielectric layer, wherein the third dielectric layer hermetically seals the release opening to provide electro-static discharge protection.

摘要翻译： 描述了在集成电路上形成片上高频静电放电装置的方法。 在该方法的一个实施例中，提供了一种其上形成有多于一个电极的封盖的第一电介质层。 在封盖的第一介电层上沉积第二介电层。 第一硬掩模介电层沉积在第二介电层上。 通过第一硬掩模电介质层和第二电介质层形成腔沟槽到第一介电层，其中在两个相邻电极之间的第一电介质层中形成空腔沟槽。 至少一个通孔围绕腔沟槽形成穿过第二电介质层。 在所述至少一个通孔中的每一个周围形成金属沟槽。 在空腔沟槽上形成释放开口。 在第二电介质层上沉积第三电介质层，其中第三介电层气密地密封释放开口以提供静电放电保护。

公开(公告)号：US08279572B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US12144095

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H02H9/02

CPC分类号： H01L23/60 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A design structure for an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, the electro-static discharge structure comprises a first dielectric layer with more than one electrode formed therein. A second dielectric layer with more than one electrode formed therein is located above the first dielectric layer. At least one via connects the more than one electrode in the first dielectric layer with the more than one electrode in the second dielectric layer. A gap is formed through the first dielectric layer and the second dielectric layer, wherein the gap extends between two adjacent electrodes in both the first dielectric layer and the second dielectric layer. A third dielectric layer is disposed over the second dielectric layer, wherein the third dielectric layer hermetically seals the gap to provide electro-static discharge protection on the integrated circuit.

摘要翻译： 描述了片上高频静电放电装置的设计结构。 在一个实施例中，静电放电结构包括其中形成有多于一个电极的第一电介质层。 其中形成有多于一个电极的第二电介质层位于第一介电层的上方。 至少一个通孔将第一介电层中的多于一个的电极与第二介电层中的多于一个的电极连接。 通过第一电介质层和第二电介质层形成间隙，其中间隙在第一电介质层和第二电介质层中的两个相邻电极之间延伸。 第三电介质层设置在第二电介质层上，其中第三介电层气密地密封间隙以在集成电路上提供静电放电保护。

公开(公告)号：US07915158B2

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：US12144071

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/7682 ,  H01L21/3148 ,  H01L21/318 ,  H01L21/3185 ,  H01L27/0248

摘要： A method for forming an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, a wafer with a multi-metal level wiring is provided. The wafer includes a first dielectric layer with more than one electrode formed therein, a second dielectric layer disposed over the first dielectric layer with more than one electrode formed therein and more than one via connecting the more than one electrode in the first dielectric layer to a respective more than one electrode in the second dielectric layer. The more than one via is misaligned a predetermined amount with the more than one electrodes in the first dielectric layer and the second dielectric layer. The at least one of the misaligned vias forms a narrow gap with another misaligned via. A cavity trench is formed through the second dielectric layer between the narrow gap that separates the misaligned vias.

摘要翻译： 描述形成片上高频静电放电装置的方法。 在一个实施例中，提供具有多金属层布线的晶片。 该晶片包括：第一电介质层，其中形成有多于一个电极;第二电介质层，设置在第一电介质层上，其中形成有多于一个电极，多个通孔将第一介电层中的多于一个的电极连接到 在第二介电层中分别有一个以上的电极。 多于一个通孔与第一介电层和第二介电层中的多于一个的电极不对准预定量。 至少一个不对齐的通孔与另一个不对齐的通孔形成了狭窄的间隙。 在分隔未对准的通孔的窄间隙之间通过第二介电层形成腔沟槽。

公开(公告)号：US20090316313A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US12144084

申请日：2008-06-23

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Xuefeng Liu ,  Anthony K. Stamper

IPC分类号： H02H9/00 ,  G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5068 ,  H01L23/60 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A design structure for an on-chip high frequency electro-static discharge device is described. In one embodiment, the electro-static discharge device comprises a substrate and multiple metal level layers disposed on the substrate. Each metal level comprises more than one electrode formed therein and more than one via connecting with some of the electrodes in adjacent metal levels. The device further includes a gap formed about one of the metal level layers, wherein the gap is hermetically sealed to provide electro-static discharge protection for the integrated circuit.

摘要翻译： 描述了片上高频静电放电装置的设计结构。 在一个实施例中，静电放电装置包括衬底和设置在衬底上的多个金属层。 每个金属层包括多于一个电极，其中形成有多个电极，并且多个通孔与相邻金属层中的一些电极连接。 所述装置还包括围绕所述金属层之一形成的间隙，其中所述间隙被气密密封以为所述集成电路提供静电放电保护。

公开(公告)号：US20120132992A1

公开(公告)日：2012-05-31

申请号：US13367646

申请日：2012-02-07

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Zhenrong Jin ,  Xuefeng Liu ,  Yun Shi

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Zhenrong Jin ,  Xuefeng Liu ,  Yun Shi

IPC分类号： H01L27/12

CPC分类号： H01L27/088 ,  H01L21/823462 ,  H01L21/823481 ,  H01L27/1207

摘要： A first field effect transistor includes a gate dielectric and a gate electrode located over a first portion of a top semiconductor layer in a semiconductor-on-insulator (SOI) substrate. A second field effect transistor includes a portion of a buried insulator layer and a source region and a drain region located underneath the buried insulator layer. In one embodiment, the gate electrode of the second field effect transistor is a remaining portion of the top semiconductor layer. In another embodiment, the gate electrode of the second field effect transistor is formed concurrently with the gate electrode of the first field effect transistor by deposition and patterning of a gate electrode layer. The first field effect transistor may be a high performance device and the second field effect transistor may be a high voltage device. A design structure for the semiconductor structure is also provided.

摘要翻译： 第一场效应晶体管包括栅极电介质和位于绝缘体上半导体（SOI））衬底中顶部半导体层的第一部分上方的栅电极。 第二场效应晶体管包括掩埋绝缘体层的一部分和位于掩埋绝缘体层下方的源区和漏区。 在一个实施例中，第二场效应晶体管的栅电极是顶部半导体层的剩余部分。 在另一个实施例中，第二场效应晶体管的栅极通过栅极电极层的沉积和图案化与第一场效应晶体管的栅电极同时形成。 第一场效应晶体管可以是高性能器件，第二场效应晶体管可以是高电压器件。 还提供了用于半导体结构的设计结构。

公开(公告)号：US20100035390A1

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：US12188366

申请日：2008-08-08

申请人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Zhenrong Jin ,  Xuefeng Liu ,  Yun Shi

发明人： Hanyi Ding ,  Kai D. Feng ,  Zhong-Xiang He ,  Zhenrong Jin ,  Xuefeng Liu ,  Yun Shi

IPC分类号： H01L21/84

CPC分类号： H01L21/84 ,  H01L21/823462 ,  H01L21/823481 ,  H01L27/1203 ,  H01L27/1207

摘要： A first portion of a top semiconductor layer of a semiconductor-on-insulator (SOI) substrate is protected, while a second portion of the top semiconductor layer is removed to expose a buried insulator layer. A first field effect transistor including a gate dielectric and a gate electrode located over the first portion of the top semiconductor layer is formed. A portion of the exposed buried insulator layer is employed as a gate dielectric for a second field effect transistor. In one embodiment, the gate electrode of the second field effect transistor is a remaining portion of the top semiconductor layer. In another embodiment, the gate electrode of the second field effect transistor is formed concurrently with the gate electrode of the first field effect transistor by deposition and patterning of a gate electrode layer.

摘要翻译： 保护绝缘体上半导体（SOI）衬底的顶部半导体层的第一部分，同时去除顶部半导体层的第二部分以暴露掩埋的绝缘体层。 形成包括位于顶部半导体层的第一部分上方的栅极电介质和栅电极的第一场效应晶体管。 暴露的掩埋绝缘体层的一部分用作第二场效应晶体管的栅极电介质。 在一个实施例中，第二场效应晶体管的栅电极是顶部半导体层的剩余部分。 在另一个实施例中，第二场效应晶体管的栅极通过栅极电极层的沉积和图案化与第一场效应晶体管的栅电极同时形成。