公开(公告)号：US20080194764A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11941433

申请日：2007-11-16

申请人： Haruhiko KOMORIYA ,  Shinichi SUMIDA ,  Katsunori KAWAMURA ,  Satoru KOBAYASHI ,  Satoru MIYAZAWA ,  Kazuhiko MAEDA

发明人： Haruhiko KOMORIYA ,  Shinichi SUMIDA ,  Katsunori KAWAMURA ,  Satoru KOBAYASHI ,  Satoru MIYAZAWA ,  Kazuhiko MAEDA

IPC分类号： C08F214/18 ,  C07D313/06 ,  C08F220/22

CPC分类号： G03F7/0397 ,  C07D307/93 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

摘要： The present invention relates to a novel fluorine-containing cyclic compound that is derived from a norbornadiene and hexafluoroacetone and has an oxacyclopentane structure. This compound may be represented by the following formula (1) or (2). Furthermore, the present invention relates to a fluorine-containing polymer compound prepared by a polymerization or copolymerization using this fluorine-containing cyclic compound or its derivative. By using such fluorine-containing polymer compound, it is possible to provide a superior resist material and a fine pattern forming process using the same.

摘要翻译： 本发明涉及一种衍生自降冰片二烯和六氟丙酮并具有氧环戊烷结构的新型含氟环状化合物。 该化合物可以由下式（1）或（2）表示。 此外，本发明涉及通过使用该含氟环状化合物或其衍生物的聚合或共聚制备的含氟聚合物。 通过使用这样的含氟聚合物化合物，可以提供优异的抗蚀剂材料和使用其的精细图案形成方法。