公开(公告)号：US3302998A

公开(公告)日：1967-02-07

申请号：US12855861

申请日：1961-08-01

Applicant: IBM

Inventor： COMPTON DINSDALE M J ,  LYONS VINCENT J ,  MCDADE PATRICIA J

IPC: C30B25/08

CPC classification number: C30B25/08 ,  Y10S420/903

公开(公告)号：US3167461A

公开(公告)日：1965-01-26

申请号：US7989760

申请日：1960-12-30

Applicant: IBM

Inventor： COMPTON DINSDALE M J

IPC: H01L21/205

CPC classification number: H01L29/66151 ,  H01L21/2225 ,  H01L21/2251 ,  H01L29/885 ,  Y10S148/04 ,  Y10S148/049 ,  Y10S252/951 ,  Y10S438/925

公开(公告)号：US3104049A

公开(公告)日：1963-09-17

申请号：US86300159

申请日：1959-12-30

Applicant: IBM

Inventor： COMPTON DINSDALE M J ,  BAKER WALTER E

IPC: H01J41/12

CPC classification number: H01J41/12